ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်း- MOSFET ၏ လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခု

ချစ်ပ်ပြား ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်တွင် photolithography၊etching, ပျံ့နှံ့ခြင်း။ပါးလွှာသောဖလင်၊ အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်း၊ ဓာတုစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပွတ်တိုက်ခြင်း၊ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်း စသည်ဖြင့်၊ ဤဆောင်းပါးသည် MOSFET ထုတ်လုပ်ရန် လုပ်ငန်းစဉ်များကို မည်ကဲ့သို့ ပေါင်းစပ်ထားသည်ကို အကြမ်းဖျင်း ရှင်းပြထားသည်။

1. ကျွန်တော်တို့မှာ ပထမတစ်ခုရှိတယ်။အလွှာဆီလီကွန် သန့်စင်မှု 99.9999999% အထိ။

2. ဆီလီကွန်ပုံဆောင်ခဲအလွှာပေါ်တွင် အောက်ဆိုဒ်ဖလင်အလွှာကို ပွားပါ။

3. Spin-coat photoresist အညီအမျှ။

4.Photolithography ကို photomask ပေါ်ရှိ ပုံစံကို photoresist သို့ လွှဲပြောင်းရန် photomask ဖြင့် ပြုလုပ်ပါသည်။

5. ဓါတ်ပြုနိုင်သောနေရာရှိ photoresist သည် ဖွံ့ဖြိုးပြီးနောက်တွင် ဆေးကြောသည်။

6. ခြစ်ခြင်းဖြင့် photoresist ဖြင့်ဖုံးအုပ်ထားသော အောက်ဆိုဒ်ဖလင်ကို ဖယ်ထုတ်ပါ၊ သို့မှသာ photolithography ပုံစံသို့ ကူးပြောင်းသွားစေရန်၊wafer.

7. ပိုလျှံနေသော photoresist ကို သန့်စင်ပြီး ဖယ်ရှားပါ။

8. နောက်ထပ် ပါးလွှာအောင် လိမ်းပါ။အောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင်. ၎င်းနောက်၊ အထက်ဖော်ပြပါ ဓါတ်ပုံရိုက်နည်းနှင့် ထွင်းထုခြင်းမှတဆင့်၊ ဂိတ်ဧရိယာရှိ အောက်ဆိုဒ်ဖလင်များကိုသာ သိမ်းဆည်းထားသည်။

9. ၎င်းပေါ်တွင် ပိုလီစီလီကွန်အလွှာကို စိုက်ပါ။

10. အဆင့် 7 တွင်ကဲ့သို့၊ ဂိတ်အောက်ဆိုဒ်အလွှာပေါ်ရှိ ပိုလီဆီလီကွန်များကိုသာထားရှိရန် photolithography နှင့် etching ကိုအသုံးပြုပါ။

11. wafer တစ်ခုလုံးကို photolithography သန့်စင်ခြင်းဖြင့် အောက်ဆိုဒ်အလွှာနှင့် တံခါးကို ဖုံးအုပ်ပါ။အိုင်းယွန်းစိုက်အရင်းအမြစ်နှင့်မြောင်းရှိလိမ့်မည်။

12. wafer ပေါ်တွင် insulating film အလွှာကို စိုက်ပါ။

13. အရင်းအမြစ်၊ တံခါးနှင့် မြောင်းများ၏ အဆက်အသွယ်အပေါက်များကို photolithography နှင့် etching ဖြင့် ထွင်းထုပါ။

14. ထို့နောက် သတ္တုစပ်သည့်နေရာတွင် သတ္တုကို အရင်း၊ ဂိတ်နှင့် မြောင်းများအတွက် လျှပ်ကူးနိုင်သော သတ္တုဝါယာများ ရှိစေရန်။

နောက်ဆုံးတွင်၊ ပြီးပြည့်စုံသော MOSFET ကို အမျိုးမျိုးသော လုပ်ငန်းစဉ်များပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်ပါသည်။

အမှန်တော့ ချစ်ပ်၏အောက်ခြေအလွှာသည် transistor အများအပြားဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။

MOSFET ထုတ်လုပ်မှုပုံစံ၊ အရင်းအမြစ်၊ ဂိတ်၊ မြောင်း

အမျိုးမျိုးသော ထရန်စစ္စတာများသည် လော့ဂျစ်ဂိတ်များဖြစ်သည်။

လော့ဂျစ်ဂိတ်များသည် ဂဏန်းသင်္ချာယူနစ်များ ဖွဲ့စည်းသည်။

နောက်ဆုံးတွင်၊ ၎င်းသည် လက်သည်းခွံအရွယ်အစားရှိ ချစ်ပ်တစ်ခုဖြစ်သည်။