VeTek Semiconductor သည် R&D နှင့် ထုတ်လုပ်မှုတွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ အတွေ့အကြုံရှိသော အလျားလိုက်မီးဖိုအတွက် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် wafer လှေအတွက် တရုတ်တွင် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်ပြီး အရည်အသွေးကို ကောင်းမွန်စွာ ထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သောစျေးနှုန်းကို ပေးဆောင်ပါသည်။ အလျားလိုက်မီးဖိုအတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဝေဖာလှေကို ကျွန်ုပ်တို့ထံမှ စိတ်ချယုံကြည်စွာ ဝယ်ယူနိုင်ပါသည်။
အလျားလိုက်မီးဖိုအတွက် အရည်အသွေးမြင့် Silicon carbide wafer လှေကို တရုတ်ထုတ်လုပ်သူ VeTek Semiconductor မှ ကမ်းလှမ်းထားသည်။ စျေးနှုန်းချိုသာစွာဖြင့် အရည်အသွေးမြင့် စက်ရုံမှတိုက်ရိုက်အရည်အသွေးမြင့်သည့် အလျားလိုက်မီးဖိုအတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဝေဖာလှေကို ဝယ်ယူပါ။ အပူချိန်မြင့်မားသောကုသမှုများအတွင်း wafers များတင်ခြင်းနှင့် လွှဲပြောင်းခြင်းအတွက် မီးဖိုပြွန်များအတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဝေဖာလှေကို အသုံးပြုပါသည်။ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဒြပ်ပစ္စည်းများဖြစ်သည့် အပူချိန်မြင့်မားခြင်း၊ ဓာတုချေးခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတည်ငြိမ်ခြင်းစသည့် အကောင်းဆုံးဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် ၎င်းတို့ကို ပျံ့နှံ့မှု၊ ဓာတ်တိုးမှု၊ CVD နှင့် annealing ကဲ့သို့သော အပူကုသမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။
1. မြင့်မားသော မာကျောမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှု- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် စိန်ထက်သာလွန်မာကျောပြီး ခံနိုင်ရည်အား မြင့်မားစေသည်။ ၎င်းသည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှေများကို ထပ်ခါတလဲလဲ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ထိခိုက်မှုများနှင့် ပွတ်တိုက်မှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ၎င်းတို့၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို သက်တမ်းတိုးစေသည်။
2. High temperature resistance: Silicon carbide has a melting point of 2730°C, making silicon carbide boats suitable for high-temperature environments and various semiconductor manufacturing processes, such as high-temperature oxidation and diffusion.
3. Low thermal expansion coefficient- Silicon carbide တွင် အပူချိန်နိမ့်ကျသော ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်း ပါ၀င်ပြီး မြင့်မားသော အပူချိန်တွင် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းပေးကာ လှေ၏ ပုံပျက်ခြင်းကို တားဆီးကာ wafer လုပ်ငန်းစဉ် တိကျမှုကို ထိခိုက်စေပါသည်။
4. ကောင်းမွန်သောဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှု- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် ဓာတုပစ္စည်းအများစုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး သာမန်အက်ဆစ်နှင့် အယ်ကာလိုင်းဖြေရှင်းချက်များနှင့် မတုံ့ပြန်နိုင်သောကြောင့် wafers များ၏ဘေးကင်းမှုနှင့် သန့်ရှင်းမှုကို အာမခံပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် ရေပြင်ညီ wafer လှေ၊ ဒေါင်လိုက် wafer လှေနှင့် အခြားစိတ်ကြိုက် လှေများကဲ့သို့သော ဆီလီကွန်ကာဘိုင် wafer အမျိုးအစားအမျိုးမျိုးကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပါသည်။
Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အလုပ်အပူချိန် (°C) | 1600°C (အောက်ဆီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်) |
SiC အကြောင်းအရာ | > 99.96% |
အခမဲ့ Si အကြောင်းအရာ | < 0.1% |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.60-2.70 g/cm3 |
ထင်ရှားသော porosity | < 16% |
Compression ခွန်အား | > 600 MPa |
အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ | 80-90 MPa (20°C) |
ပူပြင်းတဲ့ ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 90-100 MPa (1400°C) |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C | 4.70 10-6/°C |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPa |
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် | အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။ |
အလျားလိုက်မီးဖိုများအတွက် ဆီလီကွန်ကာဘိုင် wafer လှေသည် semiconductor နှင့် photovoltaic လုပ်ငန်းများတွင် ကျယ်ပြန့်သောအသုံးချမှုများကို ရှာဖွေတွေ့ရှိသည်-
Wafer သန့်ရှင်းရေးနှင့် etching
ပျံ့နှံ့ခြင်းနှင့် ဓာတ်တိုးခြင်း။
လျှပ်စစ်ပလပ်စတစ်နှင့် etching
ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် ပွတ်ခြင်း (CMP)
အပူကုသမှု
Wafer လွှဲပြောင်းခြင်းနှင့် သိုလှောင်မှု