LPE ဓာတ်ပေါင်းဖိုစက်ရုံအတွက် 8 လက်မ Halfmoon အပိုင်း

Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk ထုတ်လုပ်သူ

LPE PE2061S ပေးသွင်းသူအတွက် SiC Coated Barrel Susceptor

Tantalum Carbide Coating

VeTek ဆီမီးကွန်ဒတ်တာသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် Tantalum Carbide Coating ပစ္စည်းများ၏ ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကထုတ်ကုန်ကမ်းလှမ်းချက်များတွင် CVD တန်တလမ်ကာဘိုင်အကာအရံအစိတ်အပိုင်းများ၊ SiC crystal ကြီးထွားမှု သို့မဟုတ် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် sintered TaC coating အစိတ်အပိုင်းများပါဝင်သည်။ ISO9001 ရရှိထားပြီး၊ VeTek Semiconductor သည် အရည်အသွေးအပေါ် ကောင်းမွန်စွာ ထိန်းချုပ်ထားသည်။ VeTek Semiconductor သည် စဉ်ဆက်မပြတ် သုတေသနနှင့် ထပ်တလဲလဲ နည်းပညာများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုဖြင့် Tantalum Carbide Coating လုပ်ငန်းတွင် ဆန်းသစ်တီထွင်သူ ဖြစ်လာစေရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။

အဓိကထုတ်ကုန်များမှာ Tantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon parts, Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC coated Rings; TaC coated Porous Graphite; Tantalum Carbide အပေါ်ယံပိုင်း Graphite Susceptor; TaC အုပ်ထားသော လမ်းညွှန်လက်စွပ်၊ TaC တန်တလမ် ကာဘိုင်အဖုံးအုပ်ပြား၊ TaC Coated Wafer Susceptor၊ TaC အပေါ်ယံပိုင်းလက်စွပ်; TaC Coating Graphite အဖုံး; TaC Coated Chunk စသည်တို့သည် သန့်စင်မှု 5ppm အောက်တွင်ရှိပြီး ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များကို ပြည့်မီနိုင်ပါသည်။

TaC coating graphite သည် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို tantalum carbide အလွှာတစ်ခုဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဓာတုအငွေ့ပျံခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။ အားသာချက်ကို အောက်ပါပုံတွင် ပြထားသည်။

tantalum carbide (TaC) coating သည် ၎င်း၏ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် 3880°C အထိ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အာရုံစူးစိုက်မှုကို ရရှိထားပြီး၊ ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်မားသော ပေါင်းစပ် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အခြားရွေးချယ်စရာတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ Aixtron MOCVD စနစ် နှင့် LPE SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ် ကဲ့သို့သော၊ ၎င်းသည် PVT နည်းလမ်း SiC ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ကျယ်ပြန့်သော အသုံးချပလီကေးရှင်းတစ်ခု ပါရှိသည်။

VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating ၏ ကန့်သတ်ချက်

TaC coating ၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ
သိပ်သည်းဆ	14.3 (g/cm³)
တိကျသောထုတ်လွှတ်မှု	0.3
အပူတိုးချဲ့ကိန်း	6.3 10-6/K
မာကျောမှု (HK)	2000 HK
ခုခံမှု	1×10-5 Ohm*cm
အပူတည်ငြိမ်မှု	<2500 ℃
Graphite အရွယ်အစား ပြောင်းလဲခြင်း။	-10~20um
အပေါ်ယံအထူ	≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um)

TaC coating EDX ဒေတာ

TaC coating ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံဒေတာ

ဒြပ်	ပြည်တော်သာ ရာခိုင်နှုန်း
	Pt. ၁	Pt. ၂	Pt. ၃	ပျမ်းမျှ
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
တအမ်	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC Coated Plate ၊ TaC Coating လှည့်ပတ်ပြား TaC coating susceptor CVD TaC coating ကာဗာ CVD TaC အပေါ်ယံလက်စွပ် TaC Coating Plate ၊

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ

VeTek Semiconductor သည် အလွန်သန့်စင်သော Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးပြုထားပြီး၊ အဆိုပါ အပေါ်ယံလွှာများကို သန့်စင်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များနှင့် သတ္တုဓာတ်သတ္တုအစိတ်အပိုင်းများတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ မြင့်မားသော သန့်စင်သောအပေါ်ယံလွှာများကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် အီလက်ထရွန်နစ်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အဓိက ပစ်မှတ်ထားခြင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် MOCVD နှင့် EPI ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကြုံတွေ့ရသည့် အဆိပ်သင့်ပြီး ဓာတ်ပြုနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်များမှ ကာကွယ်ပေးသည့် wafer carriers၊ susceptors နှင့် အပူဒြပ်စင်များအတွက် အကာအကွယ်အလွှာအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များသည် wafer လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ အပေါ်ယံလွှာများသည် လေဟာနယ်၊ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် အောက်ဆီဂျင် မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ကြုံတွေ့နေရသည့် လေဟာနယ်မီးဖိုများနှင့် နမူနာအပူပေးခြင်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ကောင်းမွန်သင့်လျော်ပါသည်။

VeTek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏အဆင့်မြင့်စက်အရောင်းဆိုင်စွမ်းရည်များဖြင့် ပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်းသည် ကျွန်ုပ်တို့အား ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များ သို့မဟုတ် ရုန်းအားသတ္တုများကို အသုံးပြု၍ အခြေခံအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး SiC သို့မဟုတ် TaC ကြွေထည်များကို အိမ်အတွင်းတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။ မတူကွဲပြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန် ဖောက်သည်ပေးသောအစိတ်အပိုင်းများအတွက် coating ဝန်ဆောင်မှုများကိုလည်းပေးပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို Si epitaxy၊ SiC epitaxy၊ MOCVD စနစ်၊ RTP/RTA လုပ်ငန်းစဉ်၊ etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ ICP/PSS etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ လုပ်ငန်းစဉ်များ LED စသည်တို့ကို LPE၊ Aixtron၊ Veeco၊ Nuflare၊ TEL၊ ASM၊ Annealsys၊ TSI စသည်တို့မှ စက်ပစ္စည်းများနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ လုပ်ဆောင်နိုင်သော ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ

Silicon Carbide Coating များစွာသော ထူးခြားသော အားသာချက်များ

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter-

CVD SiC coating ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
ပစ္စည်းဥစ္စာ	ရိုးရိုးတန်ဖိုး
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC beta အဆင့် polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) oriented
သိပ်သည်းဆ	3.21 g/cm³
မာကျောခြင်း။	2500 Vickers မာကျောမှု (500 ဂရမ်ဝန်)
သီးနှံ SiZe	2~10μm
ဓာတုသန့်စင်မှု	99.99995%
Heat Capacity ၊	640 J·kg-1·K-1
Sublimation အပူချိန်	2700 ℃
Flexural Strength	415 MPa RT 4 ပွိုင့်
Young's Modulus	430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း	300W·m-1·K-1
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE)	4.5×10-6K-1

အထူးအသားပေး ထုတ်ကုန်များ

ကြှနျုပျတို့အကွောငျး

2016 ခုနှစ်တွင် တည်ထောင်ခဲ့သော VeTek semiconductor Technology Co., LTD သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် အဆင့်မြင့် coating ပစ္စည်းများကို ဦးဆောင်ပံ့ပိုးပေးသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏တည်ထောင်သူသည် China Academy of Sciences 'Institute of Materials မှကျွမ်းကျင်သူဟောင်းတစ်ဦးဖြစ်ပြီး၊ စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် နောက်ဆုံးပေါ်ဖြေရှင်းနည်းများကို တီထွင်ဖန်တီးရန် အာရုံစိုက်ခြင်းဖြင့် ကုမ္ပဏီကို တည်ထောင်ခဲ့ပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကထုတ်ကုန်ကမ်းလှမ်းချက်များပါဝင်သည်။CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်း, တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်း, SiC၊ SiC အမှုန့်များနှင့် သန့်ရှင်းမြင့်မြတ်သော SiC ပစ္စည်းများ. အဓိက ထုတ်ကုန်များမှာ SiC coated graphite susceptor၊ preheat rings၊ TaC coated diversion ring၊ halfmoon အစိတ်အပိုင်းများ စသည်တို့ဖြစ်ပြီး၊ သန့်ရှင်းမှုသည် 5ppm အောက်တွင် ရှိပြီး ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ