တရုတ် Solid Silicon Carbide ထုတ်လုပ်သူ၊ တင်သွင်းသူ၊ စက်ရုံ

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide သည် plasma etching equipment ၊ solid silicon carbide (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) etching equipment တွင် အစိတ်အပိုင်းများ ပါဝင်သည်။အာရုံစိုက်ကွင်းများဓာတ်ငွေ့ရေချိုးခန်းခေါင်း၊ ဗန်း၊ အစွန်းကွင်းစသည်ဖြင့်၊ အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) ၏ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် လျှပ်ကူးနိုင်မှုနည်းပါးခြင်းကြောင့် ကလိုရင်းနှင့် ဖလိုရင်းပါရှိသော ဖလိုရင်းပါရှိသော etching gases သည် ပလာစမာ သတ္တုတူးဆွယ်သည့်ကိရိယာအတွက် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ အစိတ်အပိုင်းများ။

ဥပမာအားဖြင့်၊ focus ring သည် wafer အပြင်ဘက်တွင်ရှိသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းဖြစ်ပြီး wafer နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့မှုတွင်၊ ring မှ ဖြတ်သွားသော plasma ကို အာရုံစိုက်ရန် ဗို့အားကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် wafer ပေါ်ရှိ ပလာစမာကို အာရုံစူးစိုက်နိုင်စေရန်၊ လုပ်ဆောင်ခြင်း။ ရိုးရာ focus ring ကို ဆီလီကွန် သို့မဟုတ် ပြုလုပ်ထားသည်။quartz၊ လျှပ်ကူးနိုင်သော ဆီလီကွန်သည် အာရုံစူးစိုက်သည့် လက်စွပ်ပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ၎င်းသည် ဆီလီကွန် wafers များ၏ လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်းနှင့် နီးစပ်သော်လည်း၊ ဖလိုရင်းပါရှိသော ပလာစမာတွင် ဖလိုရင်းပါရှိသော etching resistance နည်းပါးသည်၊ မကြာခဏ အသုံးပြုလေ့ရှိသော စက်အစိတ်အပိုင်းပစ္စည်းများသည် အချိန်အတိုင်းအတာတစ်ခုအထိ ပြင်းထန်လိမ့်မည်၊ သံချေးတက်ခြင်းဖြစ်စဉ်၊ ၎င်း၏ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို ပြင်းပြင်းထန်ထန် လျှော့ချသည်။

Solid SiC Focus Ringအလုပ်အခြေခံ：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။

နှင့် Based Focusing Ring နှင့် CVD SiC Focusing Ring တို့ကို နှိုင်းယှဉ်ခြင်း။
ကုသိုလ်ကံ	နှင့်	CVD SiC
သိပ်သည်းဆ (g/cm³)	2.33	3.21
Band ကွာဟမှု (eV)	1.12	2.3
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (W/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^စာ-၆/℃)	2.6	4
Elastic modulus (Gpa)	150	440
မာကျောမှု (Gpa)	11.4	24.5
ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် ချေးတက်ခြင်း။	ဆင်းရဲတယ်။	မြတ်သော

VeTek Semiconductor သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (CVD ဆီလီကွန်ကာဗိုက်) အစိတ်အပိုင်းများကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် SiC focusing rings ကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အစိုင်အခဲများကို ပေးဆောင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အစိုင်အခဲဆီလီကွန်ကာဗိုက်အာရုံစိုက်ကွင်းများသည် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှု၊ ဓာတုခုခံမှု၊ အပူစီးကူးမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် အိုင်းယွန်း etching ခံနိုင်ရည်တို့၌ ရိုးရာဆီလီကွန်ထက် သာလွန်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များ ပါဝင်သည်။:

ခြစ်ရာနှုန်းကို လျှော့ချရန်အတွက် သိပ်သည်းဆမြင့်မားသည်။

မြင့်မားသော bandgap နှင့်အတူအလွန်ကောင်းမွန်သော insulation ။

မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့်အပူချဲ့ထွင်မှု၏နိမ့်သောကိန်း။

သာလွန်သောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာသက်ရောက်မှုခံနိုင်ရည်နှင့် elasticity ။

မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ နှင့် သံချေးတက်ခြင်းတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အသုံးပြုပြီး ထုတ်လုပ်ထားပါတယ်။ပလာစမာ မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (PECVD)နည်းပညာများ၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် etching လုပ်ငန်းစဉ်များ တိုးလာနေသော တောင်းဆိုမှုများကို ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။ အထူးသဖြင့် ၎င်းတို့သည် ပိုမိုမြင့်မားသော ပလာစမာပါဝါနှင့် စွမ်းအင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။capacitively coupled ပလာစမာ (CCP)စနစ်များ။

VeTek Semiconductor ၏ SiC focusing rings များသည် semiconductor စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုပေးစွမ်းသည်။ သာလွန်အရည်အသွေးနှင့် ထိရောက်မှုတို့အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC အစိတ်အပိုင်းများကို ရွေးချယ်ပါ။

View as

Silicon Carbide Shower Head ၊

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ Silicon Carbide Shower Head ထုတ်ကုန်များကို ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ SiC Shower Head သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ဓာတုတည်ငြိမ်မှု၊ အပူစီးကူးမှုနှင့် ကောင်းမွန်သောဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုစွမ်းဆောင်ရည်၊ တူညီသောဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုကို ရရှိပြီး ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ ၎င်းကို ဓာတုအငွေ့ပြန်သွင်းခြင်း (CVD) သို့မဟုတ် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (PVD) လုပ်ငန်းစဉ်များကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအပူချိန်လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည်။ နောက်ထပ် တိုင်ပင်ဆွေးနွေးမှုကို ကြိုဆိုပါတယ်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်တံဆိပ်ကွင်း

တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် Silicon Carbide Seal Ring ထုတ်ကုန်ထုတ်လုပ်သူနှင့် စက်ရုံတစ်ခုအနေဖြင့် VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring ကို ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာအားနှင့် အပူစီးကူးနိုင်သောကြောင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။ CVD၊ PVD နှင့် plasma etching ကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များပါ၀င်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးသင့်လျော်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အဓိကပစ္စည်းရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ သင်၏နောက်ထပ်စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများကိုကြိုဆိုပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

SiC Crystal Growth အတွက် CVD SiC Block

VeTek Semiconductor သည် CVD-SiC အစုအဝေးအရင်းအမြစ်များ၊ CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် CVD TaC အပေါ်ယံပိုင်းများ၏ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေးနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းကို အာရုံစိုက်သည်။ ဥပမာအဖြစ် SiC Crystal Growth အတွက် CVD SiC ဘလောက်ကိုယူပြီး၊ ထုတ်ကုန်လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းပညာသည် အဆင့်မြင့်သည်၊ ကြီးထွားမှုနှုန်းသည် မြန်ဆန်သည်၊ မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ချေးခံနိုင်ရည်အားကောင်းပါသည်။ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ကြိုဆိုပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

SiC Crystal Growth နည်းပညာသစ်

Vetek Semiconductor ၏ အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ကို ဓာတုအငွေ့များ စုဆောင်းခြင်း (CVD) ဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ သယ်ယူပို့ဆောင်ရေး (PVT) ဖြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားလာရန်အတွက် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။ SiC Crystal Growth နည်းပညာသစ်တွင်၊ အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းများကို အစေ့ပုံဆောင်ခဲတစ်ခုထဲသို့ အစေ့အဆန်တစ်ခုထဲသို့ ထည့်ပြီး ခွဲထားသည်။ SiC ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားလာရန်အတွက် အရင်းအမြစ်အဖြစ် ပစ္စည်းကို ပြန်လည်အသုံးပြုရန် စွန့်ပစ်ထားသော CVD-SiC တုံးများကို အသုံးပြုပါ။ ကျွန်ုပ်တို့နှင့် မိတ်ဖက်ဖွဲ့ရန် ကြိုဆိုပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

CVD SiC ရေချိုးခန်းခေါင်း

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း CVD SiC Shower Head ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် SiC ပစ္စည်းကို နှစ်ပေါင်းများစွာ အထူးပြုလုပ်ဆောင်ခဲ့သည်။ CVD SiC Shower Head သည် ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်ဓာတုတည်ငြိမ်မှု၊ မြင့်မားသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အာရုံခံလက်စွပ်ပစ္စည်းအဖြစ် ရွေးချယ်ထားသည်။ ပလာစမာတိုက်စားမှု။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်မိတ်ဖက်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

SiC Shower Head

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း SiC Shower Head ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် SiC ပစ္စည်း၌ နှစ်ပေါင်းများစွာ အထူးပြုလုပ်ဆောင်လာခဲ့ပါသည်။SiC Shower Head သည် ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်ဓာတုတည်ငြိမ်မှု၊ မြင့်မားသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာကြံ့ခိုင်မှုနှင့် ပလာစမာတိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အာရုံစူးစိုက်နိုင်သော လက်စွပ်ပစ္စည်းအဖြစ် ရွေးချယ်ထားသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

<1 2 >

တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် Solid Silicon Carbide ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင့်ဒေသ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရန် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ လိုအပ်သည်ဖြစ်စေ သို့မဟုတ် တရုတ်နိုင်ငံမှ ထုတ်လုပ်သော အဆင့်မြင့်ပြီး တာရှည်ခံသော Solid Silicon Carbide ကို ဝယ်ယူလိုပါက ကျွန်ုပ်တို့ထံ မက်ဆေ့ချ် ထားခဲ့နိုင်ပါသည်။