VeTek ဆီမီးကွန်ဒတ်တာသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် Tantalum Carbide Coating ပစ္စည်းများ၏ ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကထုတ်ကုန်ကမ်းလှမ်းချက်များတွင် CVD tantalum carbide coating အစိတ်အပိုင်းများ၊ SiC crystal ကြီးထွားမှု သို့မဟုတ် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် sintered TaC coating အစိတ်အပိုင်းများပါဝင်သည်။ ISO9001 ရရှိပြီး၊ VeTek Semiconductor သည် အရည်အသွေးအပေါ် ကောင်းမွန်သော ထိန်းချုပ်မှုရှိပါသည်။ VeTek Semiconductor သည် စဉ်ဆက်မပြတ် သုတေသနနှင့် ထပ်တလဲလဲ နည်းပညာများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုဖြင့် Tantalum Carbide Coating လုပ်ငန်းတွင် တီထွင်သူဖြစ်လာရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။
အဓိက ထုတ်ကုန်တွေဖြစ်ပါတယ်။Tantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon အစိတ်အပိုင်းများ၊ Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC coated Rings; TaC coated Porous Graphite; Tantalum Carbide အပေါ်ယံပိုင်း Graphite Susceptor; TaC အုပ်ထားသော လမ်းညွှန်လက်စွပ်၊ TaC တန်တလမ် ကာဘိုင်အဖုံးအုပ်ပြား၊ TaC Coated Wafer Susceptor၊ TaC အပေါ်ယံပိုင်းလက်စွပ်; TaC Coating Graphite အဖုံး; TaC Coated အတုံးစသည်တို့တွင်၊ သန့်စင်မှုသည် 5ppm အောက်တွင်ရှိပြီး ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များကို ပြည့်မီနိုင်သည်။
TaC coating graphite သည် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို tantalum carbide အလွှာတစ်ခုဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဓာတုအငွေ့ပျံခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။ အားသာချက်ကို အောက်ပါပုံတွင် ပြထားသည်။
tantalum carbide (TaC) coating သည် ၎င်း၏ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် 3880°C အထိ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အာရုံစူးစိုက်မှုကို ရရှိထားပြီး၊ ၎င်းသည် အပူချိန် မြင့်မားသော ပေါင်းစပ် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အစားထိုးမှုတစ်ခု ဖြစ်လာစေပါသည်။ Aixtron MOCVD စနစ် နှင့် LPE SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ် ကဲ့သို့သော၊ ၎င်းသည် PVT နည်းလမ်း SiC ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ကျယ်ပြန့်သော အသုံးချပလီကေးရှင်းတစ်ခု ပါရှိသည်။
●အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု
●အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု
●H2၊ NH3၊ SiH4၊Si ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
●အပူစတော့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
●ဂရပ်ဖိုက်ကို ခိုင်ခံ့စေတယ်။
●Conformal coating coverage
● အချင်း 750 မီလီမီတာအထိ အရွယ်အစား (တရုတ်နိုင်ငံရှိ တစ်ခုတည်းသော ထုတ်လုပ်သူသည် ဤအရွယ်အစားအထိ)
● Inductive အပူဒဏ်ခံကိရိယာ
● Resistive အပူဒြပ်စင်
● အပူအကာ
TaC coating ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
သိပ်သည်းမှု | 14.3 (g/cm³) |
တိကျသောထုတ်လွှတ်မှု | 0.3 |
အပူတိုးချဲ့ကိန်း | ၆.၃ ၁၀စာ-၆/K |
မာကျောမှု (HK) | 2000 HK |
ခုခံမှု | 1×10စာ-၅Ohm*cm |
အပူတည်ငြိမ်မှု | <2500 ℃ |
Graphite အရွယ်အစား ပြောင်းလဲခြင်း။ | -10~20um |
အပေါ်ယံအထူ | ≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
ဒြပ် | ပြည်တော်သာ ရာခိုင်နှုန်း | |||
Pt. ၁ | Pt. ၂ | Pt. ၃ | ပျမ်းမျှ | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
အမ် | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor ၏ TaC Coating Rotation Plate တွင် ထူးထူးခြားခြား TaC coating ပါရှိပြီး၊ ၎င်း၏ခြွင်းချက် TaC coating ဖြင့် TaC Coating Rotation Plate များသည် ထူးထူးခြားခြား အပူချိန် ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ မသန်စွမ်းမှု ရှိကြောင်း၊ ၎င်းကို ရိုးရာဖြေရှင်းချက်များနှင့် ခြားနားစေပါသည်။ အရည်အသွေးရှိသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် ပံ့ပိုးပေးနိုင်ရန် ကျွန်ုပ်တို့ ကတိပြုပါသည်။ ဈေးနှုန်းများနှင့် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်ရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor ၏ TaC Coating Plate သည် ထူးခြားသောအင်္ဂါရပ်များနှင့် အားသာချက်များကို ပေးဆောင်သည့် ထူးထူးခြားခြား ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ TaC Coating Plate ကို တိကျသေချာစွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပြီး၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ TaC Coating Plate သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အမျိုးမျိုးသောအပလီကေးရှင်းများအတွက် အထူးအံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေပါသည်။ TaC Coating Plate ၏တိကျသောအတိုင်းအတာနှင့် ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှုတို့သည် ရှိပြီးသားစနစ်များအတွင်းသို့ အလွယ်တကူပေါင်းစပ်နိုင်စေပြီး ချောမွေ့လိုက်ဖက်မှုမရှိစေပါ။ နှင့်ထိရောက်သောလည်ပတ်မှု။ ၎င်း၏ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးမြင့် coating သည် SiC crystal တိုးတက်မှုအတွက် တသမတ်တည်း ရလဒ်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးရှိသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်သွားရန......
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor မှပံ့ပိုးပေးသော CVD TaC အပေါ်ယံအဖုံးသည် လိုအပ်ချက်များအတွက် အထူးပြုဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော အထူးပြုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏အဆင့်မြင့်အင်္ဂါရပ်များနှင့် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်များဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ CVD TaC အပေါ်ယံအဖုံးသည် အဓိကအားသာချက်များစွာကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ CVD TaC အပေါ်ယံအဖုံးသည် အောင်မြင်မှုအတွက် လိုအပ်သောအကာအကွယ်နှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ သင်နှင့်အတူ အလားအလာရှိသော ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုကို ရှာဖွေရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor သည် Aixtron epitaxy ပစ္စည်းများအတွက် ထူးခြားသောထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ခိုင်ခံ့သော TaC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်မားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ပြတ်တောက်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။ ဤထူးခြားသောပေါင်းစပ်မှုသည် လိုအပ်ချက်ရှိသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင်ပင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို အာမခံပါသည်။ VeTek သည် အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များကို ပံ့ပိုးပေးပြီး တရုတ်ဈေးကွက်တွင် ရေရှည်လက်တွဲဖော်အဖြစ် ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သောစျေးနှုန်းဖြင့် ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor ၏ TaC Coating Pedestal Support Plate သည် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော တိကျမှုမြင့်မားသော ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ TaC အပေါ်ယံပိုင်း၊ အပူချိန်မြင့်မားသော ခံနိုင်ရည်ရှိမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ အားနည်းမှုတို့ကြောင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သင့်အား အရည်အသွေးမြင့် EPI အလွှာများကို အရည်အသွေးမြင့်မားစွာ ထုတ်လုပ်နိုင်စေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးရှိသော ထုတ်ကုန်များကို စျေးနှုန်းအပြိုင်အဆိုင် ပေးဆောင်ရန် ကတိပြုထားပြီး တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်မိတ်ဖက်ဖြစ်ရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor ၏ TaC Coating Chuck တွင် အထူးသဖြင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) epitaxy (EPI) လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ၎င်း၏ ထူးထူးခြားခြား အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ မသန်စွမ်းမှုကြောင့် လူသိများသော အရည်အသွေးမြင့် TaC အပေါ်ယံပိုင်းကို ပါရှိသည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောအင်္ဂါရပ်များနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်များဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ TaC Coating Chuck သည် အဓိကအားသာချက်များစွာကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးရှိသောထုတ်ကုန်များကို စျေးနှုန်းချိုသာစွာဖြင့် ပံ့ပိုးပေးလျက်ရှိပြီး တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။