VeTek ဆီမီးကွန်ဒတ်တာသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် Tantalum Carbide Coating ပစ္စည်းများ၏ ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကထုတ်ကုန်ကမ်းလှမ်းချက်များတွင် CVD tantalum carbide coating အစိတ်အပိုင်းများ၊ SiC crystal ကြီးထွားမှု သို့မဟုတ် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် sintered TaC coating အစိတ်အပိုင်းများပါဝင်သည်။ ISO9001 ရရှိပြီး၊ VeTek Semiconductor သည် အရည်အသွေးအပေါ် ကောင်းမွန်သော ထိန်းချုပ်မှုရှိပါသည်။ VeTek Semiconductor သည် စဉ်ဆက်မပြတ် သုတေသနနှင့် ထပ်တလဲလဲ နည်းပညာများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုဖြင့် Tantalum Carbide Coating လုပ်ငန်းတွင် တီထွင်သူဖြစ်လာရန် ရည်ရွယ်ပါသည်။
အဓိက ထုတ်ကုန်တွေဖြစ်ပါတယ်။Tantalum Carbide coating defector ring, TaC coated diversion ring, TaC coated halfmoon အစိတ်အပိုင်းများ၊ Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk (Aixtron G10), TaC Coated Crucible; TaC coated Rings; TaC coated Porous Graphite; Tantalum Carbide အပေါ်ယံပိုင်း Graphite Susceptor; TaC အုပ်ထားသော လမ်းညွှန်လက်စွပ်၊ TaC တန်တလမ် ကာဘိုင်အဖုံးအုပ်ပြား၊ TaC Coated Wafer Susceptor၊ TaC အပေါ်ယံပိုင်းလက်စွပ်; TaC Coating Graphite အဖုံး; TaC Coated အတုံးစသည်တို့တွင်၊ သန့်စင်မှုသည် 5ppm အောက်တွင်ရှိပြီး ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များကို ပြည့်မီနိုင်သည်။
TaC coating graphite သည် သန့်စင်သောမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ကို tantalum carbide အလွှာတစ်ခုဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော ဓာတုအငွေ့ပျံခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။ အားသာချက်ကို အောက်ပါပုံတွင် ပြထားသည်။
tantalum carbide (TaC) coating သည် ၎င်း၏ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် 3880°C အထိ၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှု၊ မာကျောမှုနှင့် အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အာရုံစူးစိုက်မှုကို ရရှိထားပြီး၊ ၎င်းသည် အပူချိန် မြင့်မားသော ပေါင်းစပ် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသော အစားထိုးမှုတစ်ခု ဖြစ်လာစေပါသည်။ Aixtron MOCVD စနစ် နှင့် LPE SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ် ကဲ့သို့သော၊ ၎င်းသည် PVT နည်းလမ်း SiC ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ကျယ်ပြန့်သော အသုံးချပလီကေးရှင်းတစ်ခု ပါရှိသည်။
●အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု
●အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု
●H2၊ NH3၊ SiH4၊Si ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
●အပူစတော့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
●ဂရပ်ဖိုက်ကို ခိုင်ခံ့စေတယ်။
●Conformal coating coverage
● အချင်း 750 မီလီမီတာအထိ အရွယ်အစား (တရုတ်နိုင်ငံရှိ တစ်ခုတည်းသော ထုတ်လုပ်သူသည် ဤအရွယ်အစားအထိ)
● Inductive အပူဒဏ်ခံကိရိယာ
● Resistive အပူဒြပ်စင်
● အပူအကာ
TaC coating ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
သိပ်သည်းမှု | 14.3 (g/cm³) |
တိကျသောထုတ်လွှတ်မှု | 0.3 |
အပူတိုးချဲ့ကိန်း | ၆.၃ ၁၀စာ-၆/K |
မာကျောမှု (HK) | 2000 HK |
ခုခံမှု | 1×10စာ-၅Ohm*cm |
အပူတည်ငြိမ်မှု | <2500 ℃ |
Graphite အရွယ်အစား ပြောင်းလဲခြင်း။ | -10~20um |
အပေါ်ယံအထူ | ≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um) |
ဒြပ် | ပြည်တော်သာ ရာခိုင်နှုန်း | |||
Pt. ၁ | Pt. ၂ | Pt. ၃ | ပျမ်းမျှ | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
အမ် | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ TaC Coating Plate နှင့် အခြားသော TaC Coating အပိုပစ္စည်းများ၏ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ TaC Coating ကို လက်ရှိတွင် silicon carbide single crystal growth (PVT method)၊ epitaxial disk ( silicon carbide epitaxy ၊ LED epitaxy အပါအဝင်) စသည်တို့တွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုပါသည်။ TaC Coating Plate၊ VeTek Semiconductor TaC ၏ ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။ Coating Plate သည် TaC Coating အပိုပစ္စည်းများအတွက် စံအမှတ်ဖြစ်လာသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် သင့်အား ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ SiC epi susceptor၊ CVD SiC coating နှင့် CVD TAC COATING graphite susceptor ဆိုင်ရာ GaN ၏ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့အနက် SiC epi susceptor တွင် GaN သည် semiconductor processing တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူစီးကူးမှု၊ မြင့်မားသောအပူချိန်လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းနှင့် ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှုအားဖြင့်၊ ၎င်းသည် GaN epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်၏မြင့်မားသောထိရောက်မှုနှင့်ပစ္စည်းအရည်အသွေးကိုသေချာစေသည်။ သင်၏နောက်ထပ် တိုင်ပင်ဆွေးနွေးမှုကို ကျွန်ုပ်တို့ ရိုးသားစွာ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor ၏ CVD TaC Coating carrier သည် semiconductor ထုတ်လုပ်မှု၏ epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် အဓိကအားဖြင့် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ CVD TaC Coating carrier ၏ အလွန်မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် ပြောင်မြောက်သော အပူတည်ငြိမ်မှုတို့သည် semiconductor epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဤထုတ်ကုန်၏ မရှိမဖြစ်မရှိမဖြစ်ကို ဆုံးဖြတ်ပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် သင်နှင့်ရေရှည်စီးပွားရေးဆက်ဆံရေးတည်ဆောက်ရန် ရိုးသားစွာမျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor's TaC Coating Guide Ring ကို ဓာတုအခိုးအငွေ့ စုဆောင်းခြင်း (CVD) ဟုခေါ်သော အဆင့်မြင့်နည်းပညာဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများပေါ်တွင် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာကို လိမ်းခြင်းဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။ ဤနည်းလမ်းသည် ကောင်းမွန်စွာဖွဲ့စည်းထားပြီး ထူးခြားသော အပေါ်ယံဂုဏ်သတ္တိများကို ပေးဆောင်သည်။ TaC Coating Guide Ring ကို အသုံးပြုခြင်းဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးမြှင့်နိုင်ပြီး ဂရပ်ဖိုက်အညစ်အကြေးများ ရွေ့လျားမှုကို နှိမ်နင်းနိုင်ပြီး SiC နှင့် AIN တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲအရည်အသွေးကို စိတ်ချယုံကြည်စွာ ထိန်းသိမ်းထားနိုင်သည်။ ကျွန်တော်တို့ကိုစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ကြိုဆိုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor ၏ TaC Coated Graphite Susceptor သည် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ တန်တလမ်ကာဘိုင်အလွှာကို ပြင်ဆင်ရန်အတွက် ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (CVD) နည်းလမ်းကို အသုံးပြုသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်သည် အရင့်ကျက်ဆုံးဖြစ်ပြီး အကောင်းဆုံး coating ဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။ TaC Coated Graphite Susceptor သည် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးကာ ဂရပ်ဖိုက်အညစ်အကြေးများ ရွှေ့ပြောင်းခြင်းကို တားဆီးနိုင်ပြီး epitaxy ၏ အရည်အသွေးကို သေချာစေသည်။ VeTek Semiconductor သည် သင်၏စုံစမ်းမေးမြန်းမှုကို စောင့်မျှော်နေပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် TaC Coating Susceptor ကို တင်ဆက်ထားပြီး၊ ၎င်း၏ထူးခြားသော TaC အပေါ်ယံပိုင်းဖြင့်၊ ဤ susceptor သည် သမားရိုးကျဖြေရှင်းချက်များနှင့် လွဲ၍ အားသာချက်များစွာကို ပေးဆောင်ပါသည်။ လက်ရှိစနစ်များအတွင်းသို့ ချောမွေ့စွာပေါင်းစည်းခြင်းဖြင့် VeTek Semiconductor မှ TaC Coating Susceptor သည် တွဲဖက်အသုံးပြုနိုင်ပြီး ထိရောက်သောလည်ပတ်မှုကို အာမခံပါသည်။ ၎င်း၏ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးမြင့် TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် SiC epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ထူးခြားသောရလဒ်များကို တသမတ်တည်း ပေးစွမ်းပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးရှိသော ထုတ်ကုန်များကို အပြိုင်အဆိုင်စျေးနှုန်းများဖြင့် ပေးအပ်သွားရန် ကတိပြုထားပြီး တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်မိတ်ဖက်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။