VeTek Semiconductor သည် အလွန်သန့်စင်သော Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးပြုထားပြီး၊ အဆိုပါ အပေါ်ယံလွှာများကို သန့်စင်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များနှင့် သတ္တုဓာတ်သတ္တုအစိတ်အပိုင်းများတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ မြင့်မားသော သန့်စင်သောအပေါ်ယံလွှာများကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် အီလက်ထရွန်နစ်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အဓိက ပစ်မှတ်ထားခြင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် MOCVD နှင့် EPI ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကြုံတွေ့ရသည့် အဆိပ်သင့်ပြီး ဓာတ်ပြုနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်များမှ ကာကွယ်ပေးသည့် wafer carriers၊ susceptors နှင့် အပူဒြပ်စင်များအတွက် အကာအကွယ်အလွှာအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များသည် wafer လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ အပေါ်ယံလွှာများသည် လေဟာနယ်၊ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် အောက်ဆီဂျင် မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ကြုံတွေ့နေရသည့် လေဟာနယ်မီးဖိုများနှင့် နမူနာအပူပေးခြင်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ကောင်းမွန်သင့်လျော်ပါသည်။
VeTek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏အဆင့်မြင့်စက်အရောင်းဆိုင်စွမ်းရည်များဖြင့် ပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်းသည် ကျွန်ုပ်တို့အား ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များ သို့မဟုတ် ရုန်းအားသတ္တုများကို အသုံးပြု၍ အခြေခံအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး SiC သို့မဟုတ် TaC ကြွေထည်များကို အိမ်အတွင်းတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။ မတူကွဲပြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန် ဖောက်သည်ပေးသောအစိတ်အပိုင်းများအတွက် coating ဝန်ဆောင်မှုများကိုလည်းပေးပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို Si epitaxy၊ SiC epitaxy၊ MOCVD စနစ်၊ RTP/RTA လုပ်ငန်းစဉ်၊ etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ ICP/PSS etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ လုပ်ငန်းစဉ်များ LED စသည်တို့ကို LPE၊ Aixtron၊ Veeco၊ Nuflare၊ TEL၊ ASM၊ Annealsys၊ TSI စသည်ဖြင့် စက်ပစ္စည်းများနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။
CVD SiC coating ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ | FCC beta အဆင့် polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) oriented |
သိပ်သည်းမှု | 3.21 g/cm³ |
မာကျောခြင်း။ | 2500 Vickers မာကျောမှု (500 ဂရမ်ဝန်) |
သီးနှံ SiZe | 2~10μm |
ဓာတုသန့်စင်မှု | 99.99995% |
အပူစွမ်းရည် | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimation အပူချိန် | 2700 ℃ |
Flexural Strength | 415 MPa RT 4 ပွိုင့် |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃ |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း | 300W·m-1·K-1 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ LPE PE2061S ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူအတွက် ထိပ်တန်း SiC Coated Barrel Susceptor ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် SiC coating material တွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ အထူးပြုနေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် LPE PE2061S 4'' wafers အတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော SiC-coated barrel susceptor ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ဤ susceptor သည် LPE (Liquid Phase Epitaxy) လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည့် တာရှည်ခံ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာတစ်ခုပါရှိသည်။ တရုတ်နိုင်ငံရှိ ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံသို့ လာရောက်လည်ပတ်ရန် သင့်အား ကြိုဆိုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း Solid SiC Gas Shower Head ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် နှစ်ပေါင်းများစွာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းတွင် အထူးပြုလုပ်ဆောင်ခဲ့သည်။ VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head ၏ မြောက်မြားစွာသော အပေါက်များရှိသော ဒီဇိုင်းသည် CVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် ထုတ်ပေးသည့် အပူများကို ပြန့်ကျဲစေကြောင်း သေချာစေသည်။ အလွှာကိုအညီအမျှအပူပေးကြောင်းသေချာစေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်နှင့်အတူရေရှည်တပ်ဆင်ရန်မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း Chemical Vapor Deposition Process Solid SiC Edge Ring ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် နှစ်ပေါင်းများစွာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းတွင် အထူးပြုလုပ်ဆောင်ခဲ့သည်။VeTek Semiconductor အစိုင်အခဲ SiC edge ring သည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော etching တူညီမှုနှင့် တိကျသော wafer positioning ကို electrostatic chuck ဖြင့်အသုံးပြုသောအခါ တသမတ်တည်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ထွင်းထုခြင်းရလဒ်များကို အာမခံပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း Solid SiC Etching Focusing Ring ထုတ်လုပ်သူနှင့် ဆန်းသစ်တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် SiC ပစ္စည်းတွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ အထူးပြုနေပါသည်။ Solid SiC သည် ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်ဓာတုတည်ငြိမ်မှု၊ မြင့်မားသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားနှင့် ပလာစမာကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် အထူးပြုလုပ်ထားသော လက်စွပ်ပစ္စည်းအဖြစ် ရွေးချယ်ထားသည်။ erosion. ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော် ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။