တရုတ် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ ထုတ်လုပ်သူ၊ တင်သွင်းသူ၊ စက်ရုံ

VeTek Semiconductor သည် အလွန်သန့်စင်သော Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးပြုထားပြီး၊ အဆိုပါ အပေါ်ယံလွှာများကို သန့်စင်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များနှင့် သတ္တုဓာတ်သတ္တုအစိတ်အပိုင်းများတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ မြင့်မားသော သန့်စင်သောအပေါ်ယံလွှာများကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် အီလက်ထရွန်နစ်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အဓိက ပစ်မှတ်ထားခြင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် MOCVD နှင့် EPI ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကြုံတွေ့ရသည့် အဆိပ်သင့်ပြီး ဓာတ်ပြုနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်များမှ ကာကွယ်ပေးသည့် wafer carriers၊ susceptors နှင့် အပူဒြပ်စင်များအတွက် အကာအကွယ်အလွှာအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များသည် wafer လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ အပေါ်ယံလွှာများသည် လေဟာနယ်၊ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် အောက်ဆီဂျင် မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ကြုံတွေ့နေရသည့် လေဟာနယ်မီးဖိုများနှင့် နမူနာအပူပေးခြင်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ကောင်းမွန်သင့်လျော်ပါသည်။

VeTek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏အဆင့်မြင့်စက်အရောင်းဆိုင်စွမ်းရည်များဖြင့် ပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်းသည် ကျွန်ုပ်တို့အား ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များ သို့မဟုတ် ရုန်းအားသတ္တုများကို အသုံးပြု၍ အခြေခံအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး SiC သို့မဟုတ် TaC ကြွေထည်များကို အိမ်အတွင်းတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။ မတူကွဲပြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန် ဖောက်သည်ပေးသောအစိတ်အပိုင်းများအတွက် coating ဝန်ဆောင်မှုများကိုလည်းပေးပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို Si epitaxy၊ SiC epitaxy၊ MOCVD စနစ်၊ RTP/RTA လုပ်ငန်းစဉ်၊ etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ ICP/PSS etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ လုပ်ငန်းစဉ်များ LED စသည်တို့ကို LPE၊ Aixtron၊ Veeco၊ Nuflare၊ TEL၊ ASM၊ Annealsys၊ TSI စသည်ဖြင့် စက်ပစ္စည်းများနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ လုပ်ဆောင်နိုင်သော ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ

Silicon Carbide Coating များစွာသော ထူးခြားသော အားသာချက်များ

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter-

CVD SiC coating ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
ပစ္စည်းဥစ္စာ	ရိုးရိုးတန်ဖိုး
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC beta အဆင့် polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) oriented
သိပ်သည်းမှု	3.21 g/cm³
မာကျောခြင်း။	2500 Vickers မာကျောမှု (500 ဂရမ်ဝန်)
သီးနှံ SiZe	2~10μm
ဓာတုသန့်စင်မှု	99.99995%
အပူစွမ်းရည်	640 J·kg-1·K-1
Sublimation အပူချိန်	2700 ℃
Flexural Strength	415 MPa RT 4 ပွိုင့်
Young's Modulus	430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း	300W·m-1·K-1
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE)	4.5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Pre-Heat Ring

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ SiC coating ထုတ်လုပ်သူ၏ ဆန်းသစ်တီထွင်သူဖြစ်သည်။ VeTek Semiconductor မှပေးသော Pre-Heat Ring ကို Epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ယူနီဖောင်းဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာနှင့် အဆင့်မြင့်ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများကို ကုန်ကြမ်းအဖြစ် တသမတ်တည်း အစစ်ခံပြီး epitaxial အလွှာ၏ အရည်အသွေးနှင့် တူညီမှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် သင်နှင့် ရေရှည်ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုကို ထူထောင်ရန် မျှော်လင့်ပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

Wafer Lift Pin

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း EPI Wafer Lift Pin ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဂရပ်ဖိုက်၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် SiC coating ကို နှစ်ပေါင်းများစွာ အထူးပြုလုပ်ဆောင်နေပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် Epi လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် EPI Wafer Lift Pin ကို ပေးထားပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့်မားပြီး ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သောစျေးနှုန်းဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံသို့ လာရောက်လည်ပတ်ရန် ကြိုဆိုပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

SiC Coated Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor သည် LPE ဆီလီကွန် epitaxy တုံ့ပြန်မှုအခန်းများအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော အစိတ်အပိုင်းဖြေရှင်းချက်များကို ပေးဆောင်ထားပြီး တာရှည်ခံမှု၊ တည်ငြိမ်သောအရည်အသွေးနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်သော epitaxial အလွှာအထွက်နှုန်းကို ပေးဆောင်သည်။ SiC Coated Barrel Susceptor ကဲ့သို့သော ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သုံးစွဲသူများထံမှ အနေအထားတုံ့ပြန်ချက်ကို ရရှိခဲ့သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် Si Epi၊ SiC Epi၊ MOCVD၊ UV-LED Epitaxy နှင့် အခြားအရာများအတွက် နည်းပညာပံ့ပိုးမှုပေးပါသည်။ စျေးနှုန်းအချက်အလက်များအတွက် လွတ်လပ်စွာမေးမြန်းနိုင်ပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

EPI Receiver မှာဆိုရင်တော့

VeTek Semiconductor သည် တိကျသောစက်နှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း SiC နှင့် TaC အပေါ်ယံပိုင်းစွမ်းရည်များကို ပေါင်းစပ်ထားသည့် စက်ရုံတစ်ခုဖြစ်သည်။ စည်အမျိုးအစား Si Epi Susceptor သည် အပူချိန်နှင့် လေထုထိန်းချုပ်နိုင်မှုစွမ်းရည်ကို ပံ့ပိုးပေးကာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ သင်နှင့် ပူးပေါင်းဆက်ဆံရေးကို ထူထောင်ရန် စောင့်မျှော်နေပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

SiC Coated Epi Receptor

ဆီလီကွန်ကာဘိုင်နှင့် တန်တလမ်ကာဗိုက်အလွှာများ၏ ထိပ်တန်းပြည်တွင်းထုတ်လုပ်သူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor သည် SiC Coated Epi Susceptor ၏ တိကျသောစက်နှင့် တစ်ပြေးညီအလွှာကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် ထုတ်ကုန်များ၏ သန့်စင်မှုကို 5ppm အောက် ထိရောက်စွာ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ ထုတ်ကုန်သက်တမ်းသည် SGL နှင့် နှိုင်းယှဉ်နိုင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့ကိုမေးမြန်းရန်ကြိုဆိုပါသည်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

LPE SI EPI Receptor သတ်မှတ်

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း LPE Si Epi Susceptor Set ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် SiC coating နှင့် TaC coating တွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ အထူးပြုလုပ်ဆောင်ခဲ့ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် LPE PE2061S 4'' wafers အတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော LPE Si Epi Susceptor Set ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းနှင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်းကိုက်ညီမှုဒီဂရီသည်ကောင်းမွန်သည်၊ တူညီမှုသည်အလွန်ကောင်းမွန်ပြီး LPE (Liquid Phase Epitaxy) လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း epitaxial အလွှာကြီးထွားမှု၏အထွက်နှုန်းကိုတိုးတက်စေသည့်အသက်တာရှည်သည်။ တရုတ်။

ပိုပြီးဖတ်ပါ စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

<...10 11 12 13 14...16 >

တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် ကျွန်ုပ်တို့တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ ကိုယ်ပိုင်စက်ရုံရှိသည်။ သင့်ဒေသ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရန် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ လိုအပ်သည်ဖြစ်စေ သို့မဟုတ် တရုတ်နိုင်ငံမှ ထုတ်လုပ်သော အဆင့်မြင့်ပြီး တာရှည်ခံသည့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ ကို ဝယ်ယူလိုပါက ကျွန်ုပ်တို့ထံ မက်ဆေ့ချ် ထားခဲ့နိုင်ပါသည်။