VeTek Semiconductor ၏ထူးခြားသောကာဗိုက်အလွှာများသည် SiC Epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်ရှိ ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် ပိုမိုကောင်းမွန်သောကာကွယ်မှုပေးစွမ်းပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် ပေါင်းစပ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလိုအပ်သောပစ္စည်းများကို စီမံဆောင်ရွက်ပေးရန်အတွက်ဖြစ်သည်။ ရလဒ်မှာ ဂရပ်ဖိုက် အစိတ်အပိုင်း၏ သက်တမ်းကို သက်တမ်းတိုးခြင်း၊ တုံ့ပြန်မှု stoichiometry ကို ထိန်းသိမ်းခြင်း၊ epitaxy နှင့် crystal ကြီးထွားမှုဆိုင်ရာ အသုံးချမှုများသို့ အညစ်အကြေးများ ရွှေ့ပြောင်းခြင်းကို တားဆီးခြင်းဖြင့် အထွက်နှုန်းနှင့် အရည်အသွေးကို တိုးမြင့်စေပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံလွှာများသည် မြင့်မားသောအပူချိန် (2200°C အထိ) တွင် ပူပြင်းသော အမိုးနီးယား၊ ဟိုက်ဒရိုဂျင်၊ ဆီလီကွန်အငွေ့များနှင့် သွန်းသောသတ္တုများမှ ကာကွယ်ပေးသည်။ VeTek Semiconductor သည် သင့်စိတ်ကြိုက်လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီရန် ဂရပ်ဖိုက်လုပ်ဆောင်ခြင်းနှင့် တိုင်းတာခြင်းစွမ်းရည်များစွာပါရှိသည်၊ ထို့ကြောင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ကျွမ်းကျင်အင်ဂျင်နီယာများအဖွဲ့သည် သင့်နှင့်သင့်သတ်မှတ်ထားသောလျှောက်လွှာအတွက် သင့်တော်သောဖြေရှင်းချက်ဒီဇိုင်းရေးဆွဲရန် အဆင်သင့်ဖြစ်နေသော အခကြေးငွေပေးဆောင်သည့် coating သို့မဟုတ် ဝန်ဆောင်မှုအပြည့်ပေးနိုင်ပါသည်။ .
ဒြပ်ပေါင်း semiconductor crystals
VeTek Semiconductor သည် အစိတ်အပိုင်းအမျိုးမျိုးနှင့် သယ်ဆောင်သူများအတွက် အထူး TaC coatings ကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ VeTek Semiconductor ၏စက်မှုလုပ်ငန်းဦးဆောင်သော coating လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာခံနိုင်ရည်မြင့်မားမှုကိုရရှိနိုင်သည်၊ သို့ဖြင့် crystal TaC/GaN) နှင့် EPl အလွှာများ၏ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပြီး အရေးပါသောဓာတ်ပေါင်းဖိုအစိတ်အပိုင်းများ၏သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးနိုင်သည်။
အပူလျှပ်ကာများ
SiC၊ GaN နှင့် AlN သလင်းကျောက် ကြီးထွားမှု အစိတ်အပိုင်းများ ခံနိုင်ရည်ရှိအပူပေးသည့်ဒြပ်စင်များ၊ နော်ဇယ်များ၊ အကာအရံကွင်းများနှင့် ကြေးနန်းတပ်ဆင်ပစ္စည်းများ၊ GaN နှင့် SiC epitaxial CVD ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ၊ ဂြိုလ်တုဗန်းများ၊ ရေချိုးခေါင်းများ၊ ဦးထုပ်များနှင့် ခြေနင်းများ၊ MOCVD အစိတ်အပိုင်းများ အပါအဝင် စက်မှုလုပ်ငန်းစုများ။
LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier
ALD(Semiconductor) လက်ခံကိရိယာ
EPI Receptor (SiC Epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်)
TaC coated Satellite Susceptor TaC Coating Susceptor&Ring TaC Coating အစိတ်အပိုင်းများ TaC Coating ဖြင့် Halfmoon အစိတ်အပိုင်းများ
SiC | TaC | |
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ | အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ အလွန်ကောင်းမွန်သောပလာစမာခုခံမှု | အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှု (မြင့်မားသော အပူချိန် လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် ကိုက်ညီမှု) |
သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း။ | > 99.9999% | > 99.9999% |
သိပ်သည်းဆ (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
မာကျော (ကီလိုဂရမ်/မီလီမီတာ 2) | ၂၉၀၀-၃၃၀၀ | ၆.၇-၇.၂ |
ခုခံနိုင်စွမ်း [Ωcm] | 0.1-15,000 | <၁ |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း (W/m-K) | ၂၀၀-၃၆၀ | 22 |
အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်း (10-6/℃) | ၄.၅-၅ | 6.3 |
လျှောက်လွှာ | တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာ ကြွေဂျစ် (အာရုံစူးစိုက်ကွင်း၊ ရေချိုးခန်းခေါင်း၊ Dummy Wafer) | SiC Single crystal growth, Epi, UV LED Equipment အစိတ်အပိုင်းများ |
VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ TaC Coating Heater ၏ ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ဤထုတ်ကုန်သည် အလွန်မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် (3880°C ခန့်) ရှိသည်။ TaC Coating Heater ၏ မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်သည် အလွန်မြင့်မားသော အပူချိန်တွင် လည်ပတ်နိုင်စေပြီး အထူးသဖြင့် သတ္တုအော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်း (MOCVD) လုပ်ငန်းစဉ်တွင် Galium nitride (GaN) epitaxial အလွှာများ ကြီးထွားလာခြင်းဖြစ်သည်။ VeTek Semiconductor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့် ထုတ်ကုန်ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် TaC Coated Chuck ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor ၏ TaC Coating Chuck ကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာမီးဖိုများအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူချိန်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ဓာတုမသန်စွမ်းမှုနှင့်အလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်များဖြင့် Vetek Semiconductor ၏ဆန်းသစ်သောနည်းပညာသည် အရည်အသွေးမြင့်မားသောထုတ်လုပ်မှုစံချိန်စံညွှန်းများကိုသေချာစေရန်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးထုတ်လုပ်သည့်စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက်ယုံကြည်စိတ်ချရသောဖြေရှင်းချက်တစ်ခုပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် သင့်အား အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့် အရည်အသွေးမြင့်ထုတ်ကုန်ဖြေရှင်းနည်းများကို ယူဆောင်လာပေးမည်ဟု ကျွန်ုပ်တို့ယုံကြည်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။တရုတ်နိုင်ငံရှိ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် TaC Coating Tube ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor ၏ TaC coating tube သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်တစ်ခုတည်း ပုံဆောင်ခဲများ၏ အောင်မြင်တိုးတက်မှုအတွက် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူချိန်ကိုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ဓာတုမတည်ငြိမ်မှုနှင့်အလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်များဖြင့်၎င်းသည်တစ်သမတ်တည်းရလဒ်များနှင့်အတူအရည်အသွေးမြင့် crystals များထုတ်လုပ်မှုကိုသေချာစေသည်။ သင်၏ PVT နည်းလမ်း SiC ကြည်လင်ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို မြှင့်တင်ရန်နှင့် ကောင်းမွန်သောရလဒ်များရရှိစေရန် ကျွန်ုပ်တို့၏ဆန်းသစ်တီထွင်သောဖြေရှင်းချက်များအား ယုံကြည်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့ထံ စုံစမ်းမေးမြန်းရန် ကြိုဆိုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ CVD TAC Coating ၏ ဦးဆောင်ထုတ်လုပ်သူ၊ တီထွင်သူနှင့် ခေါင်းဆောင်တစ်ဦးဖြစ်သည်။ နှစ်များစွာကြာအောင် ကျွန်ုပ်တို့သည် CVD TaC coating cover၊ CVD TaC Coating Ring၊ CVD TaC Coating carrier စသည်တို့ကဲ့သို့ အမျိုးမျိုးသော CVD TAC Coating ထုတ်ကုန်များကို အာရုံစိုက်လာပါသည်။ VeTek Semiconductor သည် စိတ်ကြိုက်ထုတ်ကုန်ဝန်ဆောင်မှုများနှင့် ကျေနပ်လောက်သော ထုတ်ကုန်စျေးနှုန်းများကို ပံ့ပိုးပေးထားပြီး သင်၏ နောက်ထပ်မျှော်လင့်ချက် တိုင်ပင်ဆွေးနွေးခြင်း။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ TaC Coating Plate နှင့် အခြားသော TaC Coating အပိုပစ္စည်းများ၏ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ TaC Coating ကို လက်ရှိတွင် silicon carbide single crystal growth (PVT method)၊ epitaxial disk ( silicon carbide epitaxy ၊ LED epitaxy အပါအဝင်) စသည်တို့တွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုပါသည်။ TaC Coating Plate၊ VeTek Semiconductor TaC ၏ ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည်။ Coating Plate သည် TaC Coating အပိုပစ္စည်းများအတွက် စံအမှတ်ဖြစ်လာသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် သင့်အား ကျွန်ုပ်တို့မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ SiC epi susceptor၊ CVD SiC coating နှင့် CVD TAC COATING graphite susceptor ဆိုင်ရာ GaN ၏ ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့အနက် SiC epi susceptor တွင် GaN သည် semiconductor processing တွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူစီးကူးမှု၊ မြင့်မားသောအပူချိန်လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းနှင့် ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှုအားဖြင့်၊ ၎င်းသည် GaN epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်၏မြင့်မားသောထိရောက်မှုနှင့်ပစ္စည်းအရည်အသွေးကိုသေချာစေသည်။ သင်၏နောက်ထပ် တိုင်ပင်ဆွေးနွေးမှုကို ကျွန်ုပ်တို့ ရိုးသားစွာ မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။