SiC coating သည် အဘယ်ကြောင့် ဤမျှ အာရုံစိုက်မှုကို ရရှိသနည်း။ - VeTek Semiconductor

မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်း စဉ်ဆက်မပြတ်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာမှုနှင့်အတူ လျှပ်စစ်လုပ်ငန်း၊တတိယမျိုးဆက် semiconductorပစ္စည်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအတွက် မောင်းနှင်အားအသစ်ဖြစ်လာသည်။ တတိယမျိုးဆက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ပစ္စည်းများ၏ ပုံမှန် ကိုယ်စားလှယ်အဖြစ် SiC ကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေး နယ်ပယ်တွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုခဲ့ပြီး အထူးသဖြင့်၊အပူအကွက်ပစ္စည်းများ၊ ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့်ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများကြောင့်။

ဒါဆို SiC coating ဆိုတာ ဘာလဲ ? အဘယ်သို့နည်းCVD SiC အပေါ်ယံပိုင်း?

SiC သည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှု၊ နိမ့်သော အပူရှိန်ချဲ့ထွင်မှု နှင့် သံချေးတက်မှုကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသော ပေါင်းစပ်ထားသော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏အပူစီးကူးနိုင်မှုသည် 120-170 W/m·K သို့ရောက်ရှိနိုင်ပြီး အီလက်ထရွန်းနစ်အစိတ်အပိုင်းအပူများကို စွန့်ထုတ်ရာတွင် ကောင်းမွန်သောအပူစီးကူးမှုကိုပြသသည်။ ထို့အပြင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၏အပူချဲ့ကိန်းသည် 4.0×10-6/K (300-800 ℃အကွာအဝေးအတွင်း) သာဖြစ်ပြီး အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ကာ အပူကြောင့်ဖြစ်သော ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ချို့ယွင်းမှုတို့ကို များစွာလျှော့ချပေးသည်။ စိတ်ဖိစီးမှု Silicon carbide coating ဆိုသည်မှာ အစိတ်အပိုင်းများ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော အလွှာကို ရည်ညွှန်းပြီး ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ သို့မဟုတ် ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်း၊ ပက်ဖြန်းခြင်း စသည်တို့ကို ရည်ညွှန်းသည်။  

Chemical vapor deposition (CVD)လက်ရှိတွင် အလွှာမျက်နှာပြင်များပေါ်တွင် SiC coating ပြင်ဆင်ခြင်းအတွက် အဓိကနည်းပညာဖြစ်သည်။ အဓိက လုပ်ငန်းစဉ်မှာ ဓာတ်ငွေ့အဆင့် ဓာတ်ပြုသူများသည် အလွှာမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဓာတုဗေဒ တုံ့ပြန်မှုများ ဆက်တိုက်ဖြစ်ပေါ်ပြီး နောက်ဆုံးတွင် CVD SiC အပေါ်ယံလွှာကို အလွှာမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အပ်နှံပါသည်။

CVD SiC Coating ၏ Sem ဒေတာ

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အလွန်အစွမ်းထက်သောကြောင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ ချိတ်ဆက်မှုများတွင် ၎င်းသည် ကြီးမားသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ခဲ့သည်။ အဖြေမှာ epitaxy ထုတ်လုပ်မှုဆက်စပ်ပစ္စည်းများဖြစ်သည်။

SIC coating သည် ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများနှင့်ပတ်သက်၍ epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်ကို အလွန်လိုက်ဖက်ခြင်း၏ အဓိကအားသာချက်ဖြစ်သည်။ အောက်ပါတို့သည် SIC coating အတွက် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍများနှင့် အကြောင်းရင်းများဖြစ်သည်။SIC coating epitaxial susceptor:

1. မြင့်မားသောအပူစီးကူးခြင်းနှင့်မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံ

epitaxial ကြီးထွားမှုပတ်ဝန်းကျင်၏အပူချိန် 1000 ဒီဂရီအထက်ရောက်ရှိနိုင်ပါသည်။ SiC coating သည် အလွန်မြင့်မားသော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းရှိပြီး အပူကို ထိထိရောက်ရောက် ချေဖျက်နိုင်ပြီး epitaxial ကြီးထွားမှု၏ အပူချိန်တူညီမှုကို သေချာစေသည်။

2. ဓာတုတည်ငြိမ်မှု

SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုမသန်စွမ်းဖြစ်ပြီး အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ဓာတုပစ္စည်းများကြောင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး epitaxial ကြီးထွားစဉ်အတွင်း ဓာတ်ပြုပစ္စည်းများနှင့် ဆိုးရွားစွာ မတုံ့ပြန်ဘဲ ပစ္စည်းမျက်နှာပြင်၏ သမာဓိနှင့် သန့်ရှင်းမှုကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။

3. ကိုက်ညီသော ရာဇမတ်ကွက်များ အဆက်မပြတ်

epitaxial ကြီးထွားမှုတွင်၊ SiC coating သည် ၎င်း၏ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံကြောင့် epitaxial ပစ္စည်းအမျိုးမျိုးနှင့် ကောင်းမွန်စွာ လိုက်ဖက်နိုင်ပြီး၊ ၎င်းသည် ရာဇမတ်ကွက်များ ကွဲလွဲမှုကို သိသာထင်ရှားစွာ လျှော့ချနိုင်ပြီး crystal ချို့ယွင်းချက်များကို လျှော့ချကာ epitaxial အလွှာ၏ အရည်အသွေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

4. Low thermal expansion coefficient

SiC coating သည် နိမ့်သောအပူရှိန်ချဲ့ coefficient ရှိပြီး သာမန် epitaxial ပစ္စည်းများနှင့် အတော်လေးနီးစပ်ပါသည်။ ဆိုလိုသည်မှာ၊ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်၊ ပစ္စည်းပွန်းပဲ့ခြင်း၊ ကွဲအက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပုံပျက်ခြင်းကဲ့သို့သော ပြဿနာများကို ရှောင်ရှားခြင်းဖြင့် အပူချဲ့ coefficients ကွာခြားမှုကြောင့် အခြေခံနှင့် SiC အပေါ်ယံပိုင်းအကြား ပြင်းထန်သောဖိအားရှိမည်မဟုတ်ပါ။

5. မြင့်မားသောမာကျောမှုနှင့်ဝတ်ဆင်ခုခံ

SiC coating သည် အလွန်မာကျောမှုရှိပြီး၊ ထို့ကြောင့် epitaxial base ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ၎င်းကို ဖုံးအုပ်ထားခြင်းသည် ၎င်း၏ ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်အား သိသိသာသာ တိုးတက်စေပြီး ၎င်း၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးကာ ဘေ့စ်၏ ဂျီသြမေတြီနှင့် မျက်နှာပြင် ပြားချပ်ချပ်များ မပျက်စီးကြောင်း သေချာစေကာ၊

SiC coating ၏ အပိုင်းနှင့် မျက်နှာပြင်ပုံ

epitaxial ထုတ်လုပ်မှုအတွက် ဆက်စပ်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည့်အပြင်၊SiC coating သည် ဤနေရာများတွင် သိသာထင်ရှားသော အားသာချက်များရှိသည်။:

Semiconductor wafer သယ်ဆောင်သူများ：ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း wafer များကို ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် စီမံဆောင်ရွက်ခြင်းသည် အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့် တိကျမှုလိုအပ်ပါသည်။ SiC coating ကို wafer carriers များ၊ brackets များနှင့် trays များတွင် မကြာခဏ အသုံးပြုကြသည်။

Wafer Carrier

အပူပေးထားသော လက်စွပ်：ကြိုတင်အပူပေးသည့်လက်စွပ်ကို Si epitaxial substrate tray ၏အပြင်ဘက်ကွင်းပေါ်တွင် တည်ရှိပြီး ချိန်ညှိခြင်းနှင့် အပူပေးခြင်းအတွက် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းကို တုံ့ပြန်မှုအခန်းတွင် ထားရှိထားပြီး ဝေဖာကို တိုက်ရိုက်မထိတွေ့ပါ။

  ကြိုတင်အပူပေးသည့်ကွင်း

လဝက်အပေါ်ပိုင်းသည် ဓာတ်ပြုခန်း၏ အခြားဆက်စပ်ပစ္စည်းများကို သယ်ဆောင်သည်။SiC epitaxy ကိရိယာwafer နှင့် တိုက်ရိုက်မထိတွေ့ဘဲ တုံ့ပြန်မှုခန်းတွင် အပူချိန်ထိန်းချုပ်ပြီး တပ်ဆင်ထားသည်။ အောက်ပိုင်းလဝက်အပိုင်းသည် အောက်ခံလည်ပတ်မှုကို မောင်းနှင်ရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့မိတ်ဆက်သည့် ဂက်စ်ပြွန်တစ်ခုနှင့် ချိတ်ဆက်ထားသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်ကို ထိန်းချုပ်ထားပြီး တုံ့ပြန်မှုခန်းတွင် တပ်ဆင်ထားပြီး wafer နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ခြင်းမရှိပါ။

လဝက်အထက်ပိုင်း

ထို့အပြင်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင်အငွေ့ပျံခြင်းအတွက်အပျော်အရည်ပျော်ခြင်း၊ ပါဝါမြင့်သောအီလက်ထရွန်နစ်ပြွန်တံခါး၊ ဗို့အားထိန်းညှိပေးသော Brush၊ X-ray နှင့် neutron အတွက် Graphite monochromator၊ graphite substrates ပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးနှင့် atomic absorption tube coating စသည်တို့သည် SiC coating သည် ပို၍ အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေသည်။

ဘာကြောင့် ရွေးတာလဲ။VeTek Semiconductor?

VeTek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကဲ့သို့သော SiC coating ထုတ်ကုန်များထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများဖြင့် တိကျသောအင်ဂျင်နီယာနှင့် ပေါင်းစပ်ထားပါသည်။SiC coated Wafer HolderSiC Coating Epi လက်ခံကိရိယာ၊UV LED Epi လက်ခံကိရိယာ, Silicon Carbide Ceramic Coating ၊နှင့်SiC coating ALD susceptor. ကျွန်ုပ်တို့သည် သုံးစွဲသူများအား အရည်အသွေးမြင့် စိတ်ကြိုက် SiC coating ဖြင့် ပံ့ပိုးပေးသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်းအပြင် အခြားစက်မှုလုပ်ငန်းများ၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်ပါသည်။

သင့်တွင် စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများ သို့မဟုတ် နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ လိုအပ်ပါက၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။

Mob/WhatsAPP- +86-180 6922 0752

အီးမေးလ်- anny@veteksemi.com