VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ TaC coated guide ring၊ horizontal SiC wafer carrier နှင့် SiC coated susceptors တို့ကို ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် ပြီးပြည့်စုံသောနည်းပညာပံ့ပိုးမှုနှင့် အဆုံးစွန်ထုတ်ကုန်ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးရန် ကျွန်ုပ်တို့ကတိပြုပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့ကို ဆက်သွယ်ရန် ကြိုဆိုပါတယ်။
VeTek Semiconductor များအလျားလိုက် SiC Wafer Carrier/ သင်္ဘောတွင် အလွန်မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ် (၂၇၀၀ ဒီဂရီ စင်တီဂရိတ်ခန့်) ရှိပြီး ၎င်းကို အသုံးပြုနိုင်သည်။အလျားလိုက် SiC Wafer Carrier/ ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်စွာအလုပ်လုပ်ရန် လှေ။ ဤအင်္ဂါရပ်သည် အထူးသဖြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အထူးသဖြင့် အပူချိန်မြင့်သော လိမ်းကျံခြင်း သို့မဟုတ် ဓာတုငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အထူးအရေးကြီးပါသည်။
ဟိအလျားလိုက် SiC Wafer Carrier/Boat သည် wafer carriers များ သယ်ဆောင်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အောက်ပါ အခန်းကဏ္ဍများကို အတိအကျ လုပ်ဆောင်သည်-
ဆီလီကွန် wafer သယ်ဆောင်ခြင်းနှင့် ပံ့ပိုးပေးခြင်း: Horizontal SiC Wafer Boat သည် ဆီလီကွန် wafer များကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်နေစဉ်အတွင်း သယ်ဆောင်ရန်နှင့် ပံ့ပိုးရန်အတွက် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုပါသည်။ ၎င်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးတွင် ကောင်းမွန်သောအနေအထားနှင့် တည်ငြိမ်မှုရှိစေရန်အတွက် ဆီလီကွန် wafer အများအပြားကို အတူတကွ အခိုင်အမာစီစဉ်နိုင်သည်။
တူညီသောအပူနှင့်အအေး: SiC ၏ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုကြောင့် Wafer Boat သည် ဆီလီကွန် wafer များအားလုံးသို့ အပူကို အညီအမျှ ဖြန့်ဝေပေးနိုင်ပါသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်မားစွာလုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း ဆီလီကွန် wafer များကို တစ်ပြေးညီအပူပေးခြင်း သို့မဟုတ် အအေးပေးခြင်းကို ရရှိစေရန် ကူညီပေးပြီး လုပ်ငန်းစဉ်၏ လိုက်လျောညီထွေမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့ကို သေချာစေပါသည်။
ညစ်ညမ်းမှုကိုကာကွယ်ပါ။: SiC ၏ ဓာတုတည်ငြိမ်မှုသည် အပူချိန်မြင့်ပြီး အဆိပ်ဖြစ်စေသော ဓာတ်ငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ကောင်းစွာလုပ်ဆောင်နိုင်စေကာ ဆီလီကွန် wafers များ၏ ထိတွေ့မှုကို လျှော့ချခြင်းဖြင့် ဖြစ်နိုင်သော ညစ်ညမ်းမှုများ သို့မဟုတ် ဓာတ်ပြုနိုင်သော ဆီလီကွန် wafers များ၏ သန့်ရှင်းမှုနှင့် အရည်အသွေးကို အာမခံပါသည်။
တကယ်တော့၊ Horizontal SiC Wafer Boat သည် ၎င်း၏ထူးခြားသောထုတ်ကုန်လက္ခဏာများကြောင့် အထက်ပါအခန်းကဏ္ဍတွင် ပါဝင်နိုင်သည်-
အလွန်ကောင်းမွန်သောဓာတုတည်ငြိမ်မှု: SiC ပစ္စည်းသည် ဓာတုမီဒီယာအမျိုးမျိုးအတွက် အလွန်ကောင်းမွန်သော သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များ သို့မဟုတ် အရည်များကို စီမံဆောင်ရွက်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်တွင် SiC Wafer Boat သည် ဓာတုချေးချွတ်မှုကို ထိရောက်စွာ ခုခံနိုင်ပြီး ဆီလီကွန် wafer များကို ညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပါသည်။
မြင့်မားသောအပူစီးကူး: SiC ၏ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုသည် သယ်ဆောင်သည့်လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အပူကိုအညီအမျှဖြန့်ဝေရန်နှင့် အပူစုဆောင်းမှုကို လျှော့ချရန် ကူညီပေးသည်။ ၎င်းသည် တိကျစွာလုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း အပူချိန်ထိန်းချုပ်မှု၏ တိကျမှုကို တိုးတက်စေပြီး ဆီလီကွန် wafers များကို တစ်ပုံစံတည်း အပူပေးခြင်း သို့မဟုတ် အအေးပေးခြင်းတို့ကို သေချာစေသည်။
နိမ့်သောအပူတိုးချဲ့ကိန်း− SiC ပစ္စည်း၏ အပူချိန် ချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးသော ကိန်းဂဏန်းသည် အပူချိန် ပြောင်းလဲချိန်တွင် SiC Wafer Boat ၏ အတိုင်းအတာ ပြောင်းလဲမှုသည် အလွန်သေးငယ်ပါသည်။ ၎င်းသည် အပူချိန်မြင့်မားသော လုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းပေးကာ အပူချဲ့ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ဆီလီကွန် wafer များ၏ ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် အနေအထားအလိုက် နေရာရွှေ့ပြောင်းခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။
အလျားလိုက် SiC Wafer Carrier ၏ အခြေခံရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ:
VeTek Semiconductor ထုတ်လုပ်ရေးဆိုင်
semiconductor chip epitaxy လုပ်ငန်းကွင်းဆက်၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်-