VeTek Semiconductor သည် R&D နှင့် ထုတ်လုပ်မှုတွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ အတွေ့အကြုံရှိသော SiC coated silicon carbide wafer boat အတွက် တရုတ်တွင် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်ပြီး အရည်အသွေး ကောင်းမွန်စွာ ထိန်းချုပ်နိုင်ပြီး ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သော စျေးနှုန်းကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ စက်ရုံသို့လာရောက်လည်ပတ်ခြင်းအတွက် ကြိုဆိုပြီး ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုဆိုင်ရာ ဆက်လက်ဆွေးနွေးမှုများ ပြုလုပ်ခဲ့ပါသည်။
VeTek Semiconductor သည် အတွေ့အကြုံ နှစ်ပေါင်းများစွာဖြင့် SiC Coated Silicon Carbide Wafer Boat ကို အဓိကအားဖြင့် ထုတ်လုပ်သည့် တရုတ်ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ သင်နှင့်စီးပွားရေးဆက်ဆံရေးတည်ဆောက်ရန်မျှော်လင့်ပါသည်။SiC coated silicon carbide wafer boat ကို ion implantation၊ diffusion နှင့် annealing ကဲ့သို့သောအပူချိန်မြင့်မားသောလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် wafers များကိုသယ်ဆောင်ရန်အတွက် semiconductor diffusion furnace တွင်အသုံးပြုပါသည်။ ၎င်းသည် wafers များအတွက် တည်ငြိမ်သောပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း အပူချိန်တူညီမှုနှင့် ညီညွတ်မှုကို အာမခံနိုင်သည်။
SiC coated silicon carbide wafer လှေများသည် မြင့်မားသောအပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှု ရှိသောကြောင့် ၎င်းတို့ကို အပူချိန်မြင့်မြင့်တွင် လည်ပတ်စေပြီး သက်တမ်းပိုရှည်စေပါသည်။ ထို့အပြင် ၎င်းတို့တွင် ပစ္စည်းအငွေ့ပျံနှုန်းနှင့် ဓာတ်ငွေ့စုပ်ယူမှုနှုန်း နည်းပါးသောကြောင့် wafer လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အညစ်အကြေးများ၏ သက်ရောက်မှုကို လျှော့ချရန် ကူညီပေးသည်။
ကျွန်ုပ်တို့သည် ရေပြင်ညီ wafer လှေ၊ ဒေါင်လိုက် wafer လှေနှင့် အခြားစိတ်ကြိုက် လှေများကဲ့သို့သော ဆီလီကွန်ကာဘိုင် wafer အမျိုးအစားအမျိုးမျိုးကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပါသည်။
1.High-Temperature Stability
2.Chemical Inertness
3.Low Impurity အကြောင်းအရာ
4.Thermal Conductivity
Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အလုပ်အပူချိန် (°C) | 1600°C (အောက်ဆီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်) |
SiC အကြောင်းအရာ | > 99.96% |
အခမဲ့ Si အကြောင်းအရာ | < 0.1% |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.60-2.70 g/cm3 |
ထင်ရှားသော porosity | < 16% |
Compression ခွန်အား | > 600 MPa |
အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ | 80-90 MPa (20°C) |
ပူပြင်းတဲ့ ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 90-100 MPa (1400°C) |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C | 4.70 10-6/°C |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPa |
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် | အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။ |