VeTek Semiconductor သည် စိတ်ကြိုက် High purity SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောကို ပေးဆောင်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် wafer ကို စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း ချော်လဲခြင်းမှကာကွယ်ရန် အပေါက်များပါရှိပါသည်။ လိုအပ်ပါက CVD SiC coating ကိုလည်း ရရှိနိုင်ပါသည်။ ပရော်ဖက်ရှင်နယ်နှင့် အားကောင်းသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor ၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောသည် စျေးနှုန်းအပြိုင်အဆိုင်ဖြစ်ပြီး အရည်အသွေးမြင့်မားသည်။ VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
VeTekSemi High purity SiC wafer boat carrier သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွင် မီးဖိုများ၊ ပျံ့နေသော မီးဖိုများနှင့် အခြားစက်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုသည့် အရေးကြီးသော ဝက်ဝံအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောကို အများအားဖြင့် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါအစိတ်အပိုင်းများ ပါဝင်သည်-
• လှေထောက်ခန်: သယ်ဆောင်ရန် အထူးအသုံးပြုသည့် ကွင်းကွင်းနှင့် ဆင်တူသော ဖွဲ့စည်းပုံဆီလီကွန် wafersသို့မဟုတ် အခြားသော semiconductor ပစ္စည်းများ။
• အထောက်အပံ့ဖွဲ့စည်းပုံ: ၎င်း၏ ပံ့ပိုးမှုဖွဲ့စည်းပုံဒီဇိုင်းသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် လေးလံသောဝန်များကို ထမ်းနိုင်စေပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ကုသရာတွင် ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးစေမည်မဟုတ်ပါ။
ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်း
ရူပဂုဏ်သတ္တိပြန်လည်ပုံသွင်းထားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်:
ပစ္စည်းဥစ္စာ
ရိုးရိုးတန်ဖိုး
အလုပ်အပူချိန် (°C)
1600°C (အောက်ဆီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်)
SiC အကြောင်းအရာ
> 99.96%
အခမဲ့ Si အကြောင်းအရာ
< 0.1%
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု
2.60-2.70 g/cm3
ထင်ရှားသော porosity
< 16%
Compression ခွန်အား
> 600 MPa
အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။
80-90 MPa (20°C)
ပူပြင်းသော ကွေးညွှတ်ခွန်အား
90-100 MPa (1400°C)
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C
4.70*10စာ-၆/°C
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C
23 W/m•K
Elastic modulus
Elastic modulus240 GPa
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်
အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။
ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ် လိုအပ်ချက်များ မြင့်မားလာပါက၊CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းသန့်စင်မှု 99.99995% ထက် ပိုမိုရောက်ရှိစေရန် High purity SiC wafer boat carrier တွင် လုပ်ဆောင်နိုင်သည် ။
CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်း ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ:
ပစ္စည်းဥစ္စာ
ရိုးရိုးတန်ဖိုး
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ
FCC β အဆင့် polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) oriented
သိပ်သည်းမှု
3.21 g/cm³
မာကျောခြင်း။
Vickers မာကျောမှု 2500 (500 ဂရမ်ဝန်)
သီးနှံ SiZe
2~10μm
ဓာတုသန့်စင်မှု
99.99995%
Heat Capacity ၊
640 J·kgစာ-၁·Kစာ-၁
Sublimation အပူချိန်
2700 ℃
Flexural Strength
415 MPa RT 4 ပွိုင့်
Young's Modulus
430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း
300W·mစာ-၁·Kစာ-၁
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE)
4.5×10စာ-၆Kစာ-၁
မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ကုသမှုခံယူစဉ်တွင်၊ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောသည် ဆီလီကွန်ဝေဖာကို အညီအမျှအပူပေးနိုင်ပြီး ဒေသဆိုင်ရာအပူလွန်ကဲမှုကိုရှောင်ရှားနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်း၏မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်သည်၎င်းကိုအပူချိန် 1200 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်သို့မဟုတ်ထိုထက်ပို၍မြင့်မားသောတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာတည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းနိုင်စေသည်။
ဖြန့်ကျက်ခြင်း သို့မဟုတ် လိမ်းကျံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ cantilever paddle နှင့် High purity SiC wafer boat carrier တို့သည် အတူတကွ အလုပ်လုပ်ပါသည်။ ဟိcantilever လှော်တက်ဆီလီကွန်ဝေဖာကို မီးဖိုခန်းထဲသို့ သယ်ဆောင်လာသော High purity SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောကို ဖြည်းညှင်းစွာ တွန်းပို့ပြီး စီမံဆောင်ရွက်ရန်အတွက် သတ်မှတ်ထားသော အနေအထားတွင် ရပ်သွားပါသည်။
High purity SiC wafer boat carrier သည် ဆီလီကွန် wafer နှင့် အဆက်အသွယ်ကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး အပူကုသမှု လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း တိကျသော အနေအထားတွင် တပ်ဆင်ထားပြီး cantilever paddle သည် အပူချိန် ညီညီညာညာရှိစေရန် ဖွဲ့စည်းပုံတစ်ခုလုံးကို မှန်ကန်သောအနေအထားတွင် ရှိနေစေရန် ကူညီပေးပါသည်။
မြင့်မားသော အပူချိန် လုပ်ငန်းစဉ်၏ တိကျမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေရန် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောနှင့် cantilever လှော်တက်တို့သည် အတူတကွ အလုပ်လုပ်ပါသည်။
VeTek Semiconductorသည် သင့်လိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက် High Purity SiC wafer သင်္ဘောတင်သင်္ဘောကို သင့်အား ပေးဆောင်ပါသည်။ မင်းရဲ့စုံစမ်းမေးမြန်းမှုကို စောင့်မျှော်နေပါတယ်။
VeTek Semiconductorမြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC wafer လှေတင်သင်္ဘော အရောင်းဆိုင်များ: