VeTek Semiconductor သည် အလွန်သန့်စင်သော Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် အထူးပြုထားပြီး၊ အဆိုပါ အပေါ်ယံလွှာများကို သန့်စင်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များနှင့် သတ္တုဓာတ်သတ္တုအစိတ်အပိုင်းများတွင် အသုံးပြုရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ မြင့်မားသော သန့်စင်သောအပေါ်ယံလွှာများကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် အီလက်ထရွန်နစ်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အဓိက ပစ်မှတ်ထားခြင်းဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် MOCVD နှင့် EPI ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကြုံတွေ့ရသည့် အဆိပ်သင့်ပြီး ဓာတ်ပြုနိုင်သော ပတ်ဝန်းကျင်များမှ ကာကွယ်ပေးသည့် wafer carriers၊ susceptors နှင့် အပူဒြပ်စင်များအတွက် အကာအကွယ်အလွှာအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များသည် wafer လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ အပေါ်ယံလွှာများသည် လေဟာနယ်၊ ဓာတ်ပြုမှုနှင့် အောက်ဆီဂျင် မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များကို ကြုံတွေ့နေရသည့် လေဟာနယ်မီးဖိုများနှင့် နမူနာအပူပေးခြင်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ကောင်းမွန်သင့်လျော်ပါသည်။
VeTek Semiconductor တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ကျွန်ုပ်တို့၏အဆင့်မြင့်စက်အရောင်းဆိုင်စွမ်းရည်များဖြင့် ပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်းသည် ကျွန်ုပ်တို့အား ဂရပ်ဖိုက်၊ ကြွေထည်များ သို့မဟုတ် ရုန်းအားသတ္တုများကို အသုံးပြု၍ အခြေခံအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်နိုင်ပြီး SiC သို့မဟုတ် TaC ကြွေထည်များကို အိမ်အတွင်းတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။ မတူကွဲပြားသောလိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းရန် လိုက်လျောညီထွေရှိစေရန် ဖောက်သည်ပေးသောအစိတ်အပိုင်းများအတွက် coating ဝန်ဆောင်မှုများကိုလည်းပေးပါသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Coating ထုတ်ကုန်များကို Si epitaxy၊ SiC epitaxy၊ MOCVD စနစ်၊ RTP/RTA လုပ်ငန်းစဉ်၊ etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ ICP/PSS etching လုပ်ငန်းစဉ်၊ အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ လုပ်ငန်းစဉ်များ LED စသည်တို့ကို LPE၊ Aixtron၊ Veeco၊ Nuflare၊ TEL၊ ASM၊ Annealsys၊ TSI စသည်ဖြင့် စက်ပစ္စည်းများနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။
CVD SiC coating ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ | FCC beta အဆင့် polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) oriented |
သိပ်သည်းမှု | 3.21 g/cm³ |
မာကျောခြင်း။ | 2500 Vickers မာကျောမှု (500 ဂရမ်ဝန်) |
သီးနှံ SiZe | 2~10μm |
ဓာတုသန့်စင်မှု | 99.99995% |
အပူစွမ်းရည် | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimation အပူချိန် | 2700 ℃ |
Flexural Strength | 415 MPa RT 4 ပွိုင့် |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃ |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း | 300W·m-1·K-1 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဂရပ်ဖိုက်အလှည့်ကျခံကိရိယာသည် gallium nitride (MOCVD) ၏ epitaxial ကြီးထွားမှုတွင်အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်သည်။ VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း ဂရပ်ဖိုက်အလှည့်ကျခံကိရိယာ ထုတ်လုပ်သူနှင့် တင်သွင်းသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏လိုအပ်ချက်များကို အပြည့်အဝဖြည့်ဆည်းပေးသည့် သန့်စင်မြင့်ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများကိုအခြေခံ၍ သန့်စင်မြင့်ဂရပ်ဖိုက်ထုတ်ကုန်များစွာကို တီထွင်ထုတ်လုပ်ထားပါသည်။ VeTek Semiconductor သည် Rotating Graphite susceptor တွင် သင့်ပါတနာဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သောဂရပ်ဖိုက်လက်စွပ်သည် GaN epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက်သင့်လျော်သည်။ ၎င်းတို့၏ ကောင်းမွန်သော တည်ငြိမ်မှုနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်တို့က ၎င်းတို့ကို တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုစေခဲ့သည်။ VeTek Semiconductor သည် GaN epitaxy လုပ်ငန်းကို ဆက်လက်တိုးတက်စေရန် ကူညီပေးရန်အတွက် ကမ္ဘာ့ထိပ်တန်း သန့်စင်မြင့်ဂရပ်ဖိုက်လက်စွပ်ကို ထုတ်လုပ်ပါသည်။ VeTekSemi သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင့်မိတ်ဖက်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်နေသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။တရုတ်နိုင်ငံရှိ CVD SiC Pancake Susceptor ထုတ်ကုန်များ၏ ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူအဖြစ်။ VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် disc-shaped အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အပူချိန်မြင့်သော epitaxial အစစ်ခံစဉ်အတွင်းပါးလွှာသော semiconductor wafers များကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အဓိကအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ VeTek Semiconductor သည် အရည်အသွေးမြင့် SiC Pancake Susceptor ထုတ်ကုန်များကို ပံ့ပိုးပေးပြီး တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လုပ်ဖော်ကိုင်ဖက်ဖြစ်လာစေရန် ကတိပြုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံရှိ MOCVD အတွက် SiC Coated Graphite Susceptor ၏ ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းအတွက် SiC coating applications များနှင့် epitaxial semiconductor ထုတ်ကုန်များကို အထူးပြုပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ MOCVD SiC coated graphite susceptors များသည် ယှဉ်ပြိုင်နိုင်သော အရည်အသွေးနှင့် ဈေးနှုန်းများကို ပေးဆောင်ကာ ဥရောပနှင့် အမေရိကတစ်ဝှမ်းရှိ စျေးကွက်များကို ဝန်ဆောင်မှုပေးပါသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုကို မြှင့်တင်ရာတွင် သင်၏ရေရှည်ယုံကြည်ရသော မိတ်ဖက်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ကတိပြုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။VeTek Semiconductor ၏ CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော တိကျသောအင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤ SiC Coating Epitaxy Susceptor သည် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များ၊ epilayers များနှင့် အခြားအပေါ်ယံလွှာများ ကြီးထွားမှုကို မြှင့်တင်ပေးကာ အပူချိန်နှင့် ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများကို တိကျစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ သင်၏နောက်ထပ်မေးမြန်းချက်များကိုကြိုဆိုပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။CVD SiC coating ring သည် halfmoon အစိတ်အပိုင်းများ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ အခြားအစိတ်အပိုင်းများနှင့်အတူ၎င်းသည် SiC epitaxial ကြီးထွားမှုတုံ့ပြန်မှုအခန်းကိုဖွဲ့စည်းသည်။ VeTek Semiconductor သည် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် CVD SiC coating လက်စွပ်ထုတ်လုပ်သူနှင့် ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ ဖောက်သည်၏ ဒီဇိုင်းလိုအပ်ချက်အရ၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သက်ဆိုင်ရာ CVD SiC coating ring ကို အပြိုင်အဆိုင်ဆုံးစျေးနှုန်းဖြင့် ပေးဆောင်နိုင်ပါသည်။ VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်နေသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။