TaC Coating ဆိုတာ ဘာလဲ။

TaC Coating (Tantalum Carbide Coating) သည် ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အပေါ်ယံပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ပြင်းထန်သောအခြေအနေများအောက်တွင် TaC coating ၏ကောင်းမွန်သောဂုဏ်သတ္တိများကြောင့်၊ အထူးသဖြင့် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောအဆိပ်သင့်သောပတ်ဝန်းကျင်လိုအပ်သော စက်ပစ္စည်းများနှင့် အစိတ်အပိုင်းများတွင် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။ TaC Coating ကို အပူချိန်မြင့်မားခြင်း၊ အဆိပ်သင့်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပစ္စည်းများ ပျက်စီးခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။

ထုတ်ကုန်အင်္ဂါရပ်များနှင့် အားသာချက်များ

အလွန်မြင့်မားသောအပူတည်ငြိမ်မှု:

အင်္ဂါရပ်ဖော်ပြချက်- TaC coating သည် 3880°C ထက်ပိုသော အရည်ပျော်မှတ်ရှိပြီး အလွန်မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ပြိုကွဲခြင်း သို့မဟုတ် ပုံပျက်ခြင်းမရှိဘဲ တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်သည်။

အားသာချက်- ၎င်းသည် CVD TaC Coating နှင့် TaC Coated Susceptor ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ အထူးသဖြင့် Aixtron G5 ကဲ့သို့သော MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုရှိ အသုံးချပစ္စည်းများအတွက်ဖြစ်သည်။

အလွန်ကောင်းမွန်သောချေးခံနိုင်ရည်:

အင်္ဂါရပ်ဖော်ပြချက်- TaC သည် အလွန်ပြင်းထန်သော ဓာတုဗေဒ အားနည်းမှုရှိပြီး ကလိုရိုက်နှင့် ဖလိုရိုက်ကဲ့သို့သော အဆိပ်သင့်ဓာတ်ငွေ့များ တိုက်စားမှုကို ထိရောက်စွာ ခုခံနိုင်သည်။

အားသာချက်များ- အလွန်အဆိပ်ပြင်းသောဓာတုပစ္စည်းများပါဝင်သည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ TaC Coating သည် စက်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများကို ဓာတုတိုက်ခိုက်မှုမှကာကွယ်ပေးကာ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို ရှည်ကြာစေပြီး အထူးသဖြင့် Silicon Carbide Wafer Boat နှင့် အခြားအဓိကအစိတ်အပိုင်းများကို အသုံးချရာတွင် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကို တိုးတက်စေသည်။

အလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ မာကျောမှု:

အင်္ဂါရပ်ဖော်ပြချက်- TaC coating ၏ မာကျောမှုသည် 9-10 Mohs အထိ မြင့်မားပြီး စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဝတ်ဆင်မှုနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသော ဖိစီးမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

အားသာချက်- မြင့်မားသော မာကျောမှုပိုင်ဆိုင်မှုသည် TaC Coating သည် ပြင်းထန်သောအခြေအနေများအောက်တွင် စက်ပစ္စည်းများ၏ ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို အာမခံပြီး မြင့်မားသောဝတ်ဆင်မှုနှင့် စိတ်ဖိစီးမှုမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အထူးသင့်လျော်စေသည်။

ဓာတုဓာတ်ပြုမှုနည်းသည်။:

အင်္ဂါရပ်ဖော်ပြချက်- ၎င်း၏ ဓာတုဗေဒ အားနည်းမှုကြောင့် TaC Coating သည် မြင့်မားသော အပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဓာတ်ပြုမှုနည်းပြီး ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များဖြင့် မလိုအပ်သော ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။

အားသာချက်- ၎င်းသည် လုပ်ငန်းစဉ်ပတ်ဝန်းကျင်၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် အရည်အသွေးမြင့် ပစ္စည်းများ၏ အစစ်ခံမှုကို သေချာစေသောကြောင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အထူးအရေးကြီးပါသည်။

Semiconductor လုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် TaC Coating ၏ အခန်းကဏ္ဍ

အဓိက ကိရိယာ အစိတ်အပိုင်းများကို ကာကွယ်ခြင်း။:

လုပ်ဆောင်ချက်ဖော်ပြချက်- TaC coating ကို ပြင်းထန်သောအခြေအနေအောက်တွင် အလုပ်လုပ်ရန်လိုအပ်သည့် TaC Coated Susceptor ကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများ၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုသည်။ TaC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားခြင်းဖြင့် ဤအစိတ်အပိုင်းများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များ ပျက်စီးခြင်းမရှိဘဲ အချိန်ကြာမြင့်စွာ လည်ပတ်နိုင်သည်။

စက်ပစ္စည်းများ၏သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပါ။:

လုပ်ဆောင်ချက်ဖော်ပြချက်- Aixtron G5 ကဲ့သို့သော MOCVD စက်ပစ္စည်းများတွင် TaC Coating သည် စက်အစိတ်အပိုင်းများ၏ ကြာရှည်ခံမှုကို သိသိသာသာ တိုးတက်စေပြီး သံချေးတက်ခြင်းနှင့် ဟောင်းနွမ်းမှုကြောင့် စက်ပစ္စည်းများကို ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းခြင်းနှင့် အစားထိုးရန် လိုအပ်မှုကို လျှော့ချနိုင်သည်။

လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကိုတိုးမြှင့်:

လုပ်ဆောင်ချက်ဖော်ပြချက်- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုတွင် TaC Coating သည် တည်ငြိမ်မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်ကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့် အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ တူညီမှုနှင့် ညီညွတ်မှုကို သေချာစေသည်။ ၎င်းသည် ဆီလီကွန် epitaxy နှင့် gallium nitride (GaN) ကဲ့သို့သော epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်များတွင် အထူးအရေးကြီးပါသည်။

လုပ်ငန်းစဉ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပါ။:

လုပ်ဆောင်ချက်ဖော်ပြချက်- စက်၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ အပေါ်ယံအလွှာကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့် TaC Coating သည် လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံး၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုးတက်စေကာ ချွတ်ယွင်းမှုနှုန်းကို လျှော့ချနိုင်ပြီး ထုတ်ကုန်အထွက်နှုန်းကို တိုးမြှင့်ပေးနိုင်ပါသည်။ ၎င်းသည် တိကျသော၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။

မြင့်မားသောအပူတည်ငြိမ်မှု၊ အလွန်ကောင်းမွန်သောချေးခံနိုင်ရည်၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ မာကျောမှုနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း TaC Coating မှပြသထားသော ဓာတုဓာတ်ပြုမှုနည်းခြင်းသည် ၎င်းအား ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်သည့်စက်ပစ္စည်းအစိတ်အပိုင်းများကိုကာကွယ်ရန်အတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ အပူချိန်မြင့်မားမှုအတွက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ လိုအပ်ချက်၊ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် ထိရောက်သောကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များ ဆက်လက်တိုးလာသည်နှင့်အမျှ TaC Coating သည် အထူးသဖြင့် CVD TaC Coating၊ TaC Coated Susceptor နှင့် Aixtron G5 ပါဝင်သော စက်ကိရိယာများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကျယ်ပြန့်သောအသုံးချမှုအလားအလာများရှိပါသည်။

VeTek semiconductor Technology Co., LTD သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် အဆင့်မြင့် coating ပစ္စည်းများကို ဦးဆောင်ပံ့ပိုးပေးသူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ကုမ္ပဏီသည် စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် ခေတ်မီသော ဖြေရှင်းနည်းများကို တီထွင်ရန် အာရုံစိုက်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကထုတ်ကုန်ကမ်းလှမ်းချက်များတွင် CVD ဆီလီကွန်ကာဘိုင် (SiC) အပေါ်ယံအလွှာများ၊ တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံအလွှာများ၊ SiC၊ SiC အမှုန့်များနှင့် သန့်ရှင်းမြင့်မြတ်သော SiC ပစ္စည်းများ၊ SiC coated graphite susceptor၊ preheat rings၊ TaC coated diversion ring၊ halfmoon အစိတ်အပိုင်းများ စသည်တို့ပါဝင်သည်။ .၊ သန့်ရှင်းမှုသည် 5ppm အောက်တွင်ရှိပြီး ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီနိုင်သည်။

VeTek ဆီမီးကွန်ဒတ်တာသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် နောက်ဆုံးပေါ်နည်းပညာနှင့် ထုတ်ကုန်ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေးဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များအား ဖော်ထုတ်ရန် အာရုံစိုက်သည်။တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ ရေရှည်လက်တွဲဖော် ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ ရိုးသားစွာ မျှော်လင့်ပါသည်။.