တရုတ် MOCVD နည်းပညာ ထုတ်လုပ်သူ၊ တင်သွင်းသူ၊ စက်ရုံ

VeTek Semiconductor သည် MOCVD Technology အပိုပစ္စည်းများအတွက် အားသာချက်နှင့် အတွေ့အကြုံရှိသည်။

MOCVD၊ Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့ထွက်ခြင်း) ၏ အမည်အပြည့်အစုံကို metal-organic vapor phase epitaxy ဟုခေါ်သည်။ Organometallic ဒြပ်ပေါင်းများသည် သတ္တု-ကာဗွန်နှောင်ကြိုးများပါရှိသော ဒြပ်ပေါင်းများ အမျိုးအစားဖြစ်သည်။ ဤဒြပ်ပေါင်းများသည် သတ္တုနှင့် ကာဗွန်အက်တမ်ကြားတွင် အနည်းဆုံး ဓာတုနှောင်ကြိုးတစ်ခု ပါရှိသည်။ သတ္တု-အော်ဂဲနစ်ဒြပ်ပေါင်းများကို ရှေ့ပြေးနိမိတ်အဖြစ် မကြာခဏအသုံးပြုကြပြီး သေးငယ်သောဖလင်များ သို့မဟုတ် နာနိုဖွဲ့စည်းပုံများကို အစစ်ခံနည်းစနစ်အမျိုးမျိုးဖြင့် အလွှာပေါ်တွင် ဖန်တီးနိုင်သည်။

သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအခိုးအငွေ့များ စုပုံခြင်း (MOCVD နည်းပညာ) သည် သာမာန် epitaxial ကြီးထွားမှုနည်းပညာဖြစ်ပြီး MOCVD နည်းပညာကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလေဆာနှင့် LED များထုတ်လုပ်ရာတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုပါသည်။ အထူးသဖြင့် ထုတ်လုပ်မှု ဦးဆောင်သည့်အခါတွင်၊ MOCVD သည် gallium nitride (GaN) နှင့် ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အဓိကနည်းပညာဖြစ်သည်။

Epitaxy ၏ အဓိက ပုံစံနှစ်မျိုး ရှိသည်- Liquid Phase Epitaxy (LPE) နှင့် Vapor Phase Epitaxy (VPE)။ Gas phase epitaxy ကို metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) နှင့် molecular beam epitaxy (MBE) ဟူ၍ ခွဲခြားနိုင်သည်။

နိုင်ငံခြား စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများကို Aixtron နှင့် Veeco တို့က အဓိက ကိုယ်စားပြုသည်။ MOCVD စနစ်သည် လေဆာများ၊ leds၊ photoelectric အစိတ်အပိုင်းများ၊ ပါဝါ၊ RF စက်များနှင့် ဆိုလာဆဲလ်များ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အဓိက ကိရိယာများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ကုမ္ပဏီမှထုတ်လုပ်သော MOCVD နည်းပညာအပိုပစ္စည်းများ၏အဓိကအင်္ဂါရပ်များ

1) မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆနှင့် အပြည့်အ၀ပါဝင်မှု- ဂရပ်ဖိုက်အခြေစိုက်စခန်းတစ်ခုလုံးသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်သင့်သောအလုပ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရှိပြီး၊ မျက်နှာပြင်ကို အပြည့်အဝထုပ်ပိုးထားရမည်ဖြစ်ပြီး၊ ကောင်းစွာကာကွယ်မှုအခန်းကဏ္ဍတွင်ပါဝင်ရန် ကောင်းမွန်သောသိပ်သည်းဆရှိရန်၊

2) ကောင်းမွန်သော မျက်နှာပြင် ညီညာမှု- တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲ ကြီးထွားမှုအတွက် အသုံးပြုသော ဂရပ်ဖိုက်အခြေသည် အလွန်မြင့်မားသော မျက်နှာပြင် ညီညာမှု လိုအပ်သောကြောင့်၊ အပေါ်ယံလွှာကို ပြင်ဆင်ပြီးပါက အောက်ခံ၏ မူလအပြားပြားကို ထိန်းသိမ်းထားသင့်သည်၊ ဆိုလိုသည်မှာ အပေါ်ယံအလွှာသည် တူညီရမည်။

3) ကောင်းမွန်သော bonding strength- graphite base နှင့် coating material အကြားအပူချဲ့ခြင်း၏ coefficient ကွာခြားချက်ကို လျှော့ချနိုင်ပြီး နှစ်ခုကြားတွင် ချိတ်ဆက်မှုအားကောင်းစေကာ coating သည် မြင့်မားပြီး အပူချိန်နိမ့်သော အပူဒဏ်ကိုခံစားရပြီးနောက် ကွဲအက်ရန်မလွယ်ကူပါ။ သံသရာ။

4) မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု- အရည်အသွေးမြင့်ချစ်ပ်များကြီးထွားမှုလျင်မြန်ပြီးတစ်ပြေးညီအပူပေးရန်အတွက်ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံလိုအပ်သည်၊ ထို့ကြောင့်အပေါ်ယံပစ္စည်းသည်မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုရှိသင့်သည်။

5) မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်၊ မြင့်မားသော အပူချိန် ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်- အပေါ်ယံပိုင်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် အဆိပ်ရှိသော အလုပ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်စွာ အလုပ်လုပ်နိုင်ရမည်။

4 လက်မအလွှာကိုထားပါ။
LED ကြီးထွားမှုအတွက် အပြာရောင် အစိမ်းရောင် epitaxy
တုံ့ပြန်မှုအခန်းတွင် ထားရှိသည်။
wafer နှင့်တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ 4 လက်မအလွှာကိုထားပါ။
UV LED epitaxial ဖလင်ကို ကြီးထွားစေရန် အသုံးပြုသည်။
တုံ့ပြန်မှုအခန်းတွင် ထားရှိသည်။
wafer နှင့်တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ Veeco K868/Veeco K700 စက်
အဖြူရောင် LED epitaxy/ စိမ်းပြာရောင် LED epitaxy VEECO စက်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုသည်။
MOCVD Epitaxy အတွက်
SiC Coating Susceptor Aixtron TS စက်ပစ္စည်း
နက်ရှိုင်းသော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည် Epitaxy
2 လက်မအရွယ် Substrate Veeco စက်ပစ္စည်း
အနီရောင်-အဝါ LED Epitaxy
4 လက်မ Wafer Substrate TaC Coated Susceptor
(SiC Epi/ UV LED လက်ခံကိရိယာ) SiC Coated Susceptor
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD Susceptor)