တရုတ်နိုင်ငံရှိ VEECO MOCVD Susceptor ထုတ်ကုန်များကို ထိပ်တန်းထုတ်လုပ်သူနှင့် တင်သွင်းသူအနေဖြင့် VeTek Semiconductor ၏ MOCVD Susceptor သည် ခေတ်ပြိုင်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ရှုပ်ထွေးသောလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် အထူးပြုလုပ်ထားသော ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် အင်ဂျင်နီယာပိုင်းဆိုင်ရာ အထွတ်အထိပ်ကို ကိုယ်စားပြုပါသည်။ သင်၏နောက်ထပ်မေးမြန်းချက်များကိုကြိုဆိုပါသည်။
VeTek Semiconductor များVEECO MOCVDwafer susceptor သည် ultrapure graphite ကို အသုံးပြု၍ စေ့စပ်သေချာစွာ တီထွင်ထားသော အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အပေါ်ယံပိုင်း. ဒီSiC အပေါ်ယံပိုင်းအကျိုးကျေးဇူးများစွာကို ပေးစွမ်းပြီး အထင်ရှားဆုံးမှာ အောက်စထရိသို့ ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းခြင်းကို ပေးစွမ်းသည်။ အလွှာ၏အတွင်းပိုင်းတစ်လျှောက် အကောင်းဆုံးအပူဖြန့်ဖြူးမှုရရှိရန်မှာ တစ်သမတ်တည်းဖြစ်သော အပူချိန်ထိန်းညှိမှုအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပြီး တစ်သမတ်တည်းဖြစ်သော အရည်အသွေးမြင့် ပါးလွှာသောဖလင်များ အစစ်ခံခြင်းကို သေချာစေကာ၊ ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာကို ထုတ်လုပ်ရာတွင် အရေးကြီးပါသည်။
VEECO MOCVD susceptor ဒီဇိုင်း၏ အခြေခံအချက်မှာ ဂရပ်ဖိုက်အခြေခံနှင့် ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အလွှာကြားရှိ အပူချဲ့ကိန်း (CTE) ၏ လိုက်ဖက်ညီမှုဖြစ်သည်။ VeTek ၏ ultrapure graphite ၏ အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု ဂုဏ်သတ္တိများသည် SiC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် အတိအကျ ကိုက်ညီပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော စက်ဝန်းများအတွင်း အပူဒဏ်နှင့် ပုံပျက်ခြင်းအန္တရာယ်ကို လျော့နည်းစေပါသည်။MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ. အပူဖိစီးမှုအောက်တွင် ဤဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ သမာဓိသည် တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုအတွက် အရေးကြီးပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များတွင် ချို့ယွင်းချက်များ ဖြစ်နိုင်ခြေကို လျှော့ချပေးသည်။
အပူနှင့် လိုက်ဖက်ညီမှုအပြင် TaC Coating ပါရှိသော MOCVD susceptor သည် တွင်အသုံးများသော ရှေ့ပြေးဓာတုပစ္စည်းများနှင့် ထိတွေ့သောအခါ ပြင်းထန်သော ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အားနည်းမှုအတွက် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ဖြစ်သည်MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ. ဤဓာတု ခံနိုင်ရည် သည် စုပ်ယူသူ နှင့် ရှေ့ပြေး ပစ္စည်းများ အကြား မလိုလားအပ်သော တုံ့ပြန်မှုများကို တားဆီး ကာ အပ်နှံထားသော ဖလင်၏ သန့်ရှင်းမှုနှင့် အရည်အသွေးကို အကာအကွယ်ပေးသည်။ ဓာတုသဟဇာတဖြစ်မှုကိုသေချာစေခြင်းဖြင့်၊ susceptor သည် ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များနှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများအားလုံးကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။
VeTek များMOCVD လက်ခံသူအရည်အသွေး နှင့် အတိုင်းအတာ တိကျမှု တင်းကြပ်သော စံချိန်စံညွှန်းများ ပြည့်မီရန် တိကျသော စက်ယန္တရားများကို ဆောင်ရွက်ပေးသည်။ ယူနစ်တစ်ခုစီအား ၎င်း၏တိကျမှုနှင့် ဒီဇိုင်းသတ်မှတ်ချက်များနှင့် ချိန်ညှိရန် 3D စကင်န်ဖတ်ခြင်းနည်းပညာကို အသုံးပြု၍ သေချာစွာစစ်ဆေးသည်။ ဤစေ့စပ်သေချာသော အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုသည် ဆပ်ပြာမျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ တစ်ပြေးညီ အစစ်ခံမှုရရှိရန် အရေးကြီးသောအချက်ဖြစ်သည့် အလွှာများကို ခိုင်ခံ့ပြီး အညီအမျှ ပံ့ပိုးပေးကြောင်း သေချာစေသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ စက်ပစ္စည်းများ၏ နောက်ဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်မှုရှိသည်။
ထို့အပြင်၊ အသုံးပြုရလွယ်ကူမှုသည် VEECO MOCVD susceptor ဒီဇိုင်း၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ susceptor သည် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှု ထိရောက်မှုကို သိသာထင်ရှားစွာ တိုးမြင့်လာစေပြီး အလွယ်အကူမရှိ တင်ဆောင်ခြင်းနှင့် သယ်ဆောင်ခြင်းတို့ကို လွယ်ကူချောမွေ့စေရန် စိတ်ကူးဖြင့် ဖန်တီးထားသည်။ ဤအသုံးပြုသူနှင့် အဆင်ပြေသော ဒီဇိုင်းသည် ကိုင်တွယ်စဉ်အတွင်း အလွှာပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို လျော့နည်းစေပြီး ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်ကို အရှိန်မြှင့်ပေးကာ နောက်ဆုံးတွင် အလုံးစုံအထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးပြီး wafer ချို့ယွင်းချက်များနှင့် ဆက်စပ်သော ကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးပါသည်။
ထိုမှတပါး၊SiCCoated MOCVD Susceptorအကြွင်းအကျန်များနှင့် အညစ်အကြေးများကို ဖယ်ရှားရန် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းတွင် အသုံးများသော ပြင်းထန်သော အက်ဆစ်များကို ခြွင်းချက်မရှိ ခံနိုင်ရည်ရှိကြောင်း ပြသသည်။ ဤအက်ဆစ်ခံနိုင်ရည်သည် susceptor သည် ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာခိုင်မာမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ဆိုင်ရာလက္ခဏာရပ်များကို ဆက်လက်ထိန်းသိမ်းထားရန် သေချာစေပြီး၊ ထို့ကြောင့် ၎င်း၏လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်စေသည်။ ဤကြာရှည်ခံမှုသည် တသမတ်တည်း၊ ရေရှည်စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားစဉ် စုစုပေါင်းပိုင်ဆိုင်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို သက်သာစေသည်။
အနှစ်ချုပ်အားဖြင့်၊ VeTek Semiconductor ၏ VEECO MOCVD susceptor သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူထိရောက်မှု၊ ဓာတုနှင့်အပူလိုက်ဖက်မှု၊ တိကျသောစက်ပြုပြင်မှု၊ အသုံးပြုသူဗဟိုပြုဒီဇိုင်းနှင့် ခိုင်မာသောအက်ဆစ်ခံနိုင်ရည်တို့ကို ပေးစွမ်းသည့် ခေတ်မီပြီး အဆင့်မြင့်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤအင်္ဂါရပ်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာတစ်ခုဖြစ်ပြီး အရည်အသွေးမြင့်၊ ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ နှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များ ထိရောက်စွာထုတ်လုပ်မှုကိုသေချာစေသည်။ ဤအဆင့်မြင့် susceptor ကို ၎င်းတို့၏ လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်သူများသည် ပိုမိုမြင့်မားသော အထွက်နှုန်းများ၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ထုတ်လုပ်မှုသံသရာများကို ရရှိနိုင်ပါသည်။
VeTek Semiconductor VEECO MOCVD Susceptor အရောင်းဆိုင်များ: