Tantalum Carbide Coated Chuck

VeTek Semiconductor သည် တရုတ်နိုင်ငံတွင် ထိပ်တန်း Tantalum Carbide Coated Chuck ထုတ်လုပ်သူနှင့် တီထွင်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် နှစ်ပေါင်းများစွာ TaC coating ကို အထူးပြုထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့် အပူချိန် 2000 ℃အထိ ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် သင်၏ရေရှည်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် ပါ၀င်သည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

VeTek Semiconductor သည် အရည်အသွေးမြင့် Tantalum Carbide Coated Chuck၊ SiC coating အစိတ်အပိုင်းများကို အပြိုင်အဆိုင် စျေးနှုန်းဖြင့် ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ AIXTRON G10 MOCVD စနစ်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck မှ ကျွန်ုပ်တို့ကို စုံစမ်းမေးမြန်းရန် ကြိုဆိုပါသည်။ ဤဆက်စပ်ပစ္စည်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးကာ ထူးချွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပေးဆောင်သည်။

အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများဖြင့် ဖန်တီးထားပြီး တိကျသေချာစွာထုတ်လုပ်ထားသည့် chuck သည် CVD တန်တလမ်ကာဘိုင် (TaC) ဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာတစ်ခုပါရှိသည်။ ဤအလွှာသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှု၊ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ၎င်းသည် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တောင်းဆိုမှုအခြေအနေများတွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်ကို အာမခံပါသည်။

chuck သည် မတူညီသော semiconductor wafer အရွယ်အစားများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပြီး အမျိုးမျိုးသောထုတ်လုပ်မှုလိုအပ်ချက်များအတွက် သင့်လျော်သည်။ ၎င်း၏ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှုသည် wafer carriers များနှင့် susceptors တို့နှင့်ဆက်စပ်နေသော စက်ရပ်မှုနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးသည်။

VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck ဖြင့် AIXTRON G10 MOCVD စနစ်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် ပိုမိုထိရောက်မှုနှင့် သာလွန်သောရလဒ်များကို ရရှိစေသည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှု၊ မတူညီသော wafer အရွယ်အစားများနှင့် လိုက်ဖက်ညီမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်တို့က ၎င်းသည် ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်နှင့် စိန်ခေါ်မှု MOCVD ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ထူးထူးခြားခြားရလဒ်များရရှိရန် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။

Tantalum Carbide Coated Chuck ၏ ထုတ်ကုန်ပါရာမီတာ

TaC coating ၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ
သိပ်သည်းဆ	14.3 (g/cm³)
တိကျသောထုတ်လွှတ်မှု	0.3
အပူတိုးချဲ့ကိန်း	6.3 10-6/K
မာကျောမှု (HK)	2000 HK
ခုခံမှု	1×10-5 Ohm*cm
အပူတည်ငြိမ်မှု	<2500 ℃
Graphite အရွယ်အစား ပြောင်းလဲခြင်း။	-10~20um
အပေါ်ယံအထူ	≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um)