VeTek Semiconductor SiC Coated Graphite Barrel Susceptor သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည်၊ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော မျက်နှာပြင်နှင့် ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သော ရွေးချယ်စရာများကို ပေးစွမ်းနိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် wafer ဗန်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ သင်၏နောက်ထပ်မေးမြန်းမှုကိုကြိုဆိုပါသည်။
VeTek Semiconductor SiC Coated Graphite Barrel Susceptor သည် အထူးသဖြင့် LPE ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် semiconductor epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော အဆင့်မြင့်ဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤအလွန်ထိရောက်သော wafer ဗန်းကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ၏ကြီးထွားမှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ထားပြီး၊ တောင်းဆိုနေသောကုန်ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့ကိုသေချာစေရန် တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။
High-Temperature and Chemical Resistance- အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များ၏ ပြင်းထန်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ထုတ်လုပ်ထားသော SiC Coated Barrel Susceptor သည် အပူဖိစီးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ဆန့်ကျင်မှုကို ထူးထူးခြားခြား ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ၎င်း၏ SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာကို ဓာတ်တိုးမှုနှင့် ကြမ်းတမ်းသောလုပ်ဆောင်မှုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ဖြစ်ပေါ်နိုင်သည့် အခြားဓာတုတုံ့ပြန်မှုများမှ ကာကွယ်ပေးသည်။ ဤတာရှည်ခံမှုသည် ထုတ်ကုန်၏ သက်တမ်းကို တိုးစေရုံသာမက အစားထိုးမှုအကြိမ်ရေကိုလည်း လျှော့ချပေးကာ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ် သက်သာခြင်းနှင့် ကုန်ထုတ်စွမ်းအားကို တိုးမြင့်စေပါသည်။
ထူးခြားသောအပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း- SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ၏ထူးခြားသောအင်္ဂါရပ်များထဲမှတစ်ခုမှာ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူစီးကူးမှုဖြစ်သည်။ ဤပိုင်ဆိုင်မှုသည် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial အလွှာများရရှိရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော wafer တစ်လျှောက်လုံးတူညီသောအပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုကိုခွင့်ပြုသည်။ ထိရောက်သောအပူလွှဲပြောင်းမှုသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဖွဲ့စည်းပုံများတွင် ချို့ယွင်းချက်များကိုဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည့် အပူရှိအရောင်အဆင်းများကို လျော့နည်းစေပြီး၊ ထို့ကြောင့် epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်၏ အလုံးစုံအထွက်နှုန်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည်။
High-Purity Surface- မြင့်မားသော-puCVD SiC Coated Barrel Susceptor ၏ rity မျက်နှာပြင်သည် လုပ်ဆောင်နေသော semiconductor ပစ္စည်းများ၏ သမာဓိကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ညစ်ညမ်းမှုများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများ၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို ဆိုးရွားစွာ ထိခိုက်စေနိုင်ပြီး၊ အလွှာ၏သန့်ရှင်းမှုကို အောင်မြင်သော epitaxy တွင် အရေးပါသောအချက်တစ်ခုဖြစ်လာစေသည်။ ၎င်း၏ သန့်စင်သော ကုန်ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များဖြင့် SiC coated မျက်နှာပြင်သည် ညစ်ညမ်းမှု အနည်းဆုံးဖြစ်ကြောင်း သေချာစေပြီး အရည်အသွေး ပိုမိုကောင်းမွန်သော ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုနှင့် စက်ပစ္စည်းတစ်ခုလုံး၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
SiC Coated Graphite Barrel Susceptor ၏ အဓိက အသုံးချမှုသည် LPE ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွင်းတွင်ရှိပြီး အရည်အသွေးမြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအလွှာများ ကြီးထွားမှုအတွက် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ အကောင်းဆုံးသော အပူဖြန့်ဖြူးမှုကို ပံ့ပိုးပေးချိန်တွင် လွန်ကဲသောအခြေအနေများအောက်တွင် တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်မှုစွမ်းရည်က ၎င်းသည် အဆင့်မြင့် semiconductor ကိရိယာများကို အာရုံစိုက်ထုတ်လုပ်သူများအတွက် မရှိမဖြစ်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤ susceptor ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ကုမ္ပဏီများသည် သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော semiconductor ပစ္စည်းများထုတ်လုပ်ရာတွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို မျှော်လင့်နိုင်ပြီး နောက်ဆုံးပေါ်နည်းပညာများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအတွက် လမ်းခင်းပေးနိုင်ပါသည်။
VeTeksemi သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့် ထုတ်ကုန်ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် ကတိပြုထားသည်မှာ ကြာပါပြီ။ VeTek Semiconductor ၏ SiC-coated graphite barrel susceptors များသည် တိကျသော applications များနှင့် လိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်မှုများကို ပေးဆောင်သည်။ အတိုင်းအတာများကို ပြုပြင်မွမ်းမံခြင်း၊ တိကျသော အပူဓာတ်ဂုဏ်သတ္တိများကို မြှင့်တင်ပေးခြင်း သို့မဟုတ် အထူးပြုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ထူးခြားသောအင်္ဂါရပ်များကို ပေါင်းထည့်ခြင်းဖြစ်စေ VeTek Semiconductor သည် ဖောက်သည်များ၏လိုအပ်ချက်များကို အပြည့်အဝဖြည့်ဆည်းပေးမည့် ဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် ကတိပြုပါသည်။ တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ ရိုးသားစွာ မျှော်လင့်ပါသည်။
CVD SiC coating ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ |
|
ပစ္စည်းဥစ္စာ |
ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC beta အဆင့် polycrystalline, အဓိကအားဖြင့် (111) oriented |
CoatingDensity |
3.21 g/cm³ |
SiC coating Hardness |
Vickers မာကျောမှု 2500 (500 ဂရမ်ဝန်) |
စပါးအရွယ်အစား |
2~10μm |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
99.99995% |
အပူစွမ်းရည် |
640 J·kgစာ-၁·Kစာ-၁ |
Sublimation အပူချိန် |
2700 ℃ |
Flexural Strength |
415 MPa RT 4 ပွိုင့် |
Young's Modulus |
430 Gpa 4pt ကွေး၊ 1300 ℃ |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း |
300W·mစာ-၁·Kစာ-၁ |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE) |
4.5×10စာ-၆Kစာ-၁ |