PECVD Graphite Boat

Vetek Semiconductor ၏ PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေသည် ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို ထိထိရောက်ရောက်အကွာအဝေးနှင့် တူညီသောအပေါ်ယံတွင် အစစ်ခံရန်အတွက် တောက်ပသောထွက်ရှိမှုကို လှုံ့ဆော်ပေးခြင်းဖြင့် ဆိုလာဆဲလ်အပေါ်ယံပိုင်း လုပ်ငန်းစဉ်များကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ပေးပါသည်။ အဆင့်မြင့်နည်းပညာနှင့် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုများဖြင့်၊ Vetek တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၏ PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေများသည် ဆီလီကွန်ဝေဖာအရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပြီး နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်အဖြစ် ပြောင်းလဲခြင်းထိရောက်မှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့အား စုံစမ်းမေးမြန်းရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

VeTek Semiconductor သည် ပရော်ဖက်ရှင်နယ် China PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေထုတ်လုပ်သူနှင့် တင်သွင်းသူဖြစ်သည်။

VeTek Semiconductor ၏ ဆိုလာဆဲလ် (အပေါ်ယံပိုင်း) PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေ၏ အခန်းကဏ္ဍကား အဘယ်နည်း။

coating process မှထုတ်လုပ်သော သာမန် ဆီလီကွန် wafers များ အနေဖြင့် PECVD ဂရပ်ဖိုက် လှေ တွင် ဖွဲ့စည်းပုံ အတွင်း အချို့သော ကြားကာလ များ ရှိသော သင်္ဘော wafers များစွာ ရှိပြီး ကပ်လျက် လှေ wafer နှစ်ခု အကြား အလွန် ကျဉ်းမြောင်း သော နေရာ ရှိပြီး ဆီလီကွန် wafer များကို နှစ်ဖက် စလုံး တွင် ထားရှိ သည် ။ တံခါးအလွတ်နှစ်ဖက်။

PECVD ဂရပ်ဖိုက် လှေရုပ်တွင် ဂရပ်ဖိုက်သည် လျှပ်စစ်နှင့် အပူကူးနိုင်သော ဂုဏ်သတ္တိများ ရှိသောကြောင့် ကပ်လျက်လှေနှစ်စင်းတွင် AC ဗို့အားကို မေးမြန်းသောကြောင့် လှေငယ်နှစ်စင်းသည် အခန်းအတွင်း ဖိအားနှင့် ဓာတ်ငွေ့များ ပေါ်လာသောအခါ၊ glow discharge သည် လှေနှစ်စင်းကြားတွင် ဖြစ်ပေါ်ပြီး glow discharge သည် အာကာသအတွင်း SiH4 နှင့် NH3 ဓာတ်ငွေ့များကို ပြိုကွဲစေပြီး Si နှင့် N အိုင်းယွန်းများ ဖြစ်ပေါ်လာသည်။ SiNx မော်လီကျူးများကို အပေါ်ယံလွှာ၏ ရည်ရွယ်ချက်ကို အောင်မြင်စေရန် ဆီလီကွန် wafer ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုစည်းထားသည်။

PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေသည် ဆိုလာဆဲလ်အဖြစ်လည်းကောင်း ရောင်ပြန်ဟပ်မှုရုပ်ရှင်အတွက် သယ်ဆောင်သူအဖြစ်၊ ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် အရွယ်အစားသည် ဆီလီကွန် wafers များ၏ ပြောင်းလဲခြင်းထိရောက်မှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုကို တိုက်ရိုက်ထိခိုက်စေသည်၊ နည်းပညာဆိုင်ရာ သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို နှစ်ပေါင်းများစွာကြာပြီးနောက်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံတွင် ယခုအခါ အဆင့်မြင့်ထုတ်လုပ်မှုစက်ပစ္စည်းများ၊ ရင့်ကျက်သောနည်းပညာဒီဇိုင်နာများနှင့် အတွေ့အကြုံရှိသော ထုတ်လုပ်ရေးဝန်ထမ်းများနှင့် ပစ္စည်းများသည် တင်သွင်းလာသော ကုန်ကြမ်းများ သို့မဟုတ် တန်ဖိုးကြီး ပြည်တွင်းသုံးပစ္စည်းများကို ရွေးချယ်နိုင်သည်။ လက်ရှိတွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ကုမ္ပဏီမှထုတ်လုပ်သော ဂရပ်ဖိုက်အိမ်သည် ရိုးရှင်းသောဖွဲ့စည်းပုံ၊ ဂရပ်ဖိုက်လှေနှင့် သင့်လျော်သောအကွာအဝေးရှိပြီး ဆီလီကွန်အပေါ်ယံပိုင်းကို ညီညီညာညာဖြစ်စေသော၊ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပြီး နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်ပြောင်းလဲခြင်း၏ထိရောက်မှုကို မြင့်မားစေသည်။

Vetek Semiconductor တွင် ယခုစျေးကွက်လိုအပ်နေသော ဂရပ်ဖိုက်လှေအမျိုးအစားအားလုံးရှိသည်။

isostatic graphite ၏ အခြေခံ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ

isostatic graphite ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
ပစ္စည်းဥစ္စာ	ယူနစ်	ရိုးရိုးတန်ဖိုး
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု	g/cm³	1.83
မာကျောခြင်း။	HSD	58
လျှပ်စစ်ခုခံနိုင်စွမ်း	mΩ.m	10
Flexural Strength	MPa	47
Compressive Strength	MPa	103
ဆန့်နိုင်အား	MPa	31
Young's Modulus	ဂျီပီ	11.8
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း(CTE)	10-6K-1	4.6
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း	W·m-1·K-1	130
ပျမ်းမျှသီးနှံအရွယ်အစား	µm	၈-၁၀
ချွေးပေါက်များခြင်း။	%	10
Ash အကြောင်းအရာ	ppm	≤5 (သန့်စင်ပြီးနောက်)