EPI လက်ခံသူ

VeTek Semiconductor သည် တရုတ် EPI Receiver၊ ALD Planetary Receiver၊ TaC Coated Graphite Receiver ထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး ပရော်ဖက်ရှင်နယ်ခေါင်းဆောင်တစ်ဦးဖြစ်သည်။

VeTek Semiconductor ၏ EPI susceptor သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် epitaxial ကြီးထွားမှု၏အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial အလွှာကို တစ်ပြေးညီကြီးထွားလာစေရန်အတွက် wafer ကို ပံ့ပိုးပေးပြီး အပူပေးရန်ဖြစ်သည်။

VeTek Semiconductors ၏ EPI susceptors များကို အများအားဖြင့် သန့်စင်မြင့် ဂရပ်ဖိုက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) အလွှာဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။ ဤဒီဇိုင်းတွင် အောက်ပါ အဓိက အားသာချက်များ ရှိသည်။

မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှု: EPI susceptor သည် epitaxial အလွှာ၏ တစ်ပြေးညီ ကြီးထွားမှုကို အာမခံပြီး မြင့်မားသော အပူချိန် ပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်တည်ငြိမ်ငြိမ် ရှိနေနိုင်သည်။

သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။: SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဓာတ်ငွေ့များ၏ တိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဗန်း၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးစေသည်။

အပူစီးကူးမှု- SiC ပစ္စည်း၏ မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုသည် အပူပေးနေစဉ်အတွင်း wafer ၏တူညီသောအပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုကိုသေချာစေပြီး၊ ထို့ကြောင့် epitaxial အလွှာ၏အရည်အသွေးကိုတိုးတက်စေသည်။

အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု ကိန်းဂဏာန်း ကိုက်ညီမှု: SiC ၏ အပူချဲ့ကိန်းသည် ဂရပ်ဖိုက်နှင့် ဆင်တူသည်၊ အပူချဲ့ထွင်ခြင်းနှင့် ကျုံ့ခြင်းကြောင့် အပေါ်ယံကြွေကျခြင်းပြဿနာကို ရှောင်ရှားသည်။

အခြေခံရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများEPI လက်ခံသူ:

CVD SiC Coating ထုတ်လုပ်ရေးဆိုင်:

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ချစ်ပ်စ် epitaxy လုပ်ငန်းကွင်းဆက်၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်: