CVD TaC coated သုံးပွင့်ချပ်လမ်းညွှန်လက်စွပ်

VeTek Semiconductor သည် နှစ်ပေါင်းများစွာ နည်းပညာဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုကို တွေ့ကြုံခဲ့ပြီး CVD TaC coating ၏ ထိပ်တန်းလုပ်ငန်းစဉ်နည်းပညာကို ကျွမ်းကျင်စွာ ကျွမ်းကျင်ခဲ့သည်။ CVD TaC coated three-petal guide ring သည် VeTek Semiconductor ၏ အရင့်ကျက်ဆုံး CVD TaC coating ထုတ်ကုန်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး PVT နည်းလမ်းဖြင့် SiC crystals ကို ပြင်ဆင်ရန်အတွက် အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ VeTek Semiconductor ၏အကူအညီဖြင့် သင်၏ SiC crystal ထုတ်လုပ်မှုသည် ပိုမိုချောမွေ့ပြီး ထိရောက်မည်ဟု ကျွန်ုပ်ယုံကြည်ပါသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

Silicon carbide တစ်ခုတည်းသော crystal substrate material သည် wide bandgap semiconductor material နှင့်သက်ဆိုင်သည့် crystal material တစ်မျိုးဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောဗို့အားခုခံမှု၊ မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားမှု၊ ဆုံးရှုံးမှုနည်းပါးမှုစသည်ဖြင့် အားသာချက်များရှိသည်။ ၎င်းသည် ပါဝါမြင့်မားသော အီလက်ထရွန်နစ်ကိရိယာများနှင့် မိုက်ခရိုဝေ့ဖ်ရေဒီယိုကြိမ်နှုန်းကိရိယာများ ပြင်ဆင်မှုအတွက် အခြေခံပစ္စည်းဖြစ်သည်။ လက်ရှိတွင် SiC ပုံဆောင်ခဲများ ကြီးထွားမှုအတွက် အဓိကနည်းလမ်းများမှာ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနည်းလမ်း (PVT နည်းလမ်း)၊ အပူချိန်မြင့်မားသော ဓာတုအငွေ့များ စုဆောင်းခြင်း (HTCVD နည်းလမ်း)၊ အရည်အဆင့်နည်းလမ်း စသည်တို့ဖြစ်သည်။

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

PVT နည်းလမ်းသည် စက်မှုအစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုအတွက် ပိုမိုသင့်လျော်သော ရင့်ကျက်သောနည်းလမ်းဖြစ်သည်။ SiC အစေ့ပုံဆောင်ခဲကို မီးစင်၏ထိပ်တွင် ထားကာ SiC အမှုန့်ကို အပူချိန်မြင့်ပြီး ဖိအားနည်းသော အပိတ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အပေါက်၏အောက်ခြေတွင် ကုန်ကြမ်းအဖြစ် ထားခြင်းဖြင့် SiC အမှုန့်သည် သိမ်မွေ့လာပြီး အနီးတစ်ဝိုက်သို့ အထက်သို့ လွှဲပြောင်းပေးသည်။ အပူချိန် gradient နှင့် အာရုံစူးစိုက်မှု ကွာခြားချက်၏ လုပ်ဆောင်ချက်အောက်တွင် အစေ့ပုံဆောင်ခဲ၏ လုပ်ဆောင်ချက်အောက်တွင်၊ လွန်ကဲသော မပြည့်ဝသော အခြေအနေသို့ ရောက်ရှိပြီးနောက် ပြန်လည်ပုံဆောင်နိုင်သည်၊၊ SiC ပုံဆောင်ခဲ၏ အရွယ်အစားနှင့် တိကျသော ပုံဆောင်ခဲအမျိုးအစား ကြီးထွားမှုကို ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။ အောင်မြင်မည်။

CVD TaC coated three-petal guide ring ၏ အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်မှာ အရည်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာများ ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်၊ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို လမ်းညွှန်ရန်နှင့် crystal growth area ကို တူညီသောလေထုတစ်ခုရရှိစေရန် ကူညီပေးရန်ဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် SiC crystals များကြီးထွားစဉ်အတွင်း အပူချိန်ကို ထိရောက်စွာ ချေဖျက်ပေးပြီး အပူချိန် gradient ကို ထိန်းသိမ်းပေးကာ SiC crystals များ၏ ကြီးထွားမှု အခြေအနေများကို ကောင်းမွန်စေပြီး မညီမညာသော အပူချိန် ဖြန့်ဖြူးမှုကြောင့် ဖြစ်လာသော ပုံဆောင်ခဲချို့ယွင်းချက်များကို ရှောင်ရှားသည်။

CVD TaC coating ၏ ကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်

● အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု: အညစ်အကြေးများ နှင့် ညစ်ညမ်းမှုများ ဖြစ်ပေါ်ခြင်းကို ရှောင်ကြဉ်ပါ။

● မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှု: အပူချိန် 2500 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်ထက် မြင့်မားသော တည်ငြိမ်မှုသည် အလွန်မြင့်မားသော အပူချိန်ကို လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။

● ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်သည်းခံမှု: H(2)၊ NH(3)၊ SiH(4) နှင့် Si တို့အား ခံနိုင်ရည်ရှိ၍ ပြင်းထန်သော ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကာကွယ်မှုပေးသည်။

● မကျွတ်ဘဲ အသက်ရှည်ပါစေ။: ဂရပ်ဖိုက်ကိုယ်ထည်နှင့် ခိုင်ခံ့သော ချိတ်ဆက်မှုသည် အတွင်းအပေါ်ယံအလွှာကို မကျွတ်ဘဲ ရှည်လျားသော သက်တမ်းကို သေချာစေသည်။

● အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်: အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်သည် လည်ပတ်လည်ပတ်မှုကို မြန်ဆန်စေသည်။

●တင်းကျပ်သောအတိုင်းအတာသည်းခံမှု: အပေါ်ယံဖုံးလွှမ်းမှု တင်းကျပ်သော အတိုင်းအတာ ခံနိုင်ရည်များနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာပါစေ။

VeTek Semiconductor တွင် သင့်အတွက် အသင့်တော်ဆုံး ထုတ်ကုန်များနှင့် ဖြေရှင်းချက်များအား အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေနိုင်သော ပရော်ဖက်ရှင်နယ်နှင့် ရင့်ကျက်သော နည်းပညာပံ့ပိုးကူညီမှုအဖွဲ့နှင့် အရောင်းအဖွဲ့တစ်ခုရှိသည်။ အကြိုရောင်းချမှုမှ အရောင်းအပြီးအထိ၊ VeTek Semiconductor သည် သင့်အား အပြည့်စုံဆုံးနှင့် အပြည့်စုံဆုံးဝန်ဆောင်မှုများပေးဆောင်ရန် အမြဲတမ်းကတိပြုပါသည်။

TaC coating ၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ

TaC coating ၏ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများ
TaC coating Density	14.3 (g/cm³)
တိကျသောထုတ်လွှတ်မှု	0.3
အပူချဲ့ကိန်း	၆.၃ ၁၀^စာ-၆/K
TaC coating Hardness (HK)	2000 HK
ခုခံမှု	1×10^စာ-၅Ohm*cm
အပူတည်ငြိမ်မှု	<2500 ℃
Graphite အရွယ်အစား ပြောင်းလဲခြင်း။	-10~20um
အပေါ်ယံအထူ	≥20um ပုံမှန်တန်ဖိုး (35um±10um)
အပူစီးကူးမှု	9-22(W/m·K)

VeTek Semiconductor CVD TaC coated three-petal guide ring ထုတ်ကုန်ဆိုင်များ

SiC Graphite substrate CVD TaC coated three-petal guide ring test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

Hot Tags: CVD TaC coated သုံးပွင့်လွှာလမ်းညွှန်လက်စွပ်၊ တရုတ်၊ ထုတ်လုပ်သူ၊ ပေးသွင်းသူ၊ စက်ရုံ၊ စိတ်ကြိုက်၊ ဝယ်ယူရန်၊ အဆင့်မြင့်၊ တာရှည်ခံ၊ တရုတ်နိုင်ငံထုတ်

ထုတ်ကုန် Tag

ဆက်စပ်အမျိုးအစား